【技术实现步骤摘要】
本申请属于晶圆生产设备，尤其是涉及一种单片晶圆清洗装置晶圆支撑盘上支撑柱驱动结构。
技术介绍
1、中国技术专利文献cn118099074a公开了一种单片晶圆清洗装置一体化晶圆支撑盘结构。包括：盘面、支撑柱和驱动机构，驱动机构通过齿轮带动支撑柱底部的驱动齿轮动作，从而驱动盘面的支撑柱转动卡紧晶圆。由于整个机构需要快速转动，因此，振动较为剧烈，振动也会导致晶圆在卡紧时容易发生损坏。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种具有阻尼转动的提高晶圆安全性的单片晶圆清洗装置晶圆支撑盘上支撑柱驱动结构。
2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
3、一种单片晶圆清洗装置晶圆支撑盘上支撑柱驱动结构，包括：
4、盘面，内部具有安装空间；
5、转动件，包括内环和外环，所述内环上具有内齿，所述外环上具有外齿；
6、驱动件，与所述内齿啮合，用于驱动所述转动件转动，使转动件在初始状态到夹紧状态之间变化；
...【技术保护点】
1.一种单片晶圆清洗装置晶圆支撑盘上支撑柱驱动结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的单片晶圆清洗装置晶圆支撑盘上支撑柱驱动结构，其特征在于，所述配重体齿轮(721)为扇形齿轮。
3.根据权利要求1所述的单片晶圆清洗装置晶圆支撑盘上支撑柱驱动结构，其特征在于，还包括：弹性件(6)，用于向转动件(2)施加弹力，使转动件(2)恢复初始状态；
4.根据权利要求3所述的单片晶圆清洗装置晶圆支撑盘上支撑柱驱动结构，其特征在于，所述转动件(2)上开设有弧形槽(24)，所述固定件(63)穿过弧形槽(24)与盘面(1)连接，使得所有固定柱...
【技术特征摘要】
1.一种单片晶圆清洗装置晶圆支撑盘上支撑柱驱动结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的单片晶圆清洗装置晶圆支撑盘上支撑柱驱动结构，其特征在于，所述配重体齿轮(721)为扇形齿轮。
3.根据权利要求1所述的单片晶圆清洗装置晶圆支撑盘上支撑柱驱动结构，其特征在于，还包括：弹性件(6)，用于向转动件(2)施加弹力，使转动件(2)恢复初始状态；
4.根据权利要求3所述的单片晶圆清洗装置晶圆支撑盘上支撑柱驱动结构，其特征在于，所述转动件(2)上开设有弧形槽(24)，所述固定件(63)穿过弧形槽(24)与盘面(1)连接，使得所有固定柱(62)以及固定件(63)与盘面(1)的连接柱位于同一个圆内。
5.根据权利要求4所述的单片晶圆清洗装置晶圆支撑盘上支撑柱驱动结构，其特征在于，所述盘面(1)上设...
【专利技术属性】
技术研发人员：李刚，郭亚飞，殷驰，王禹涵，王鸿军，
申请(专利权)人：江苏亚电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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