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本申请涉及一种单片晶圆清洗装置晶圆支撑盘上支撑柱驱动结构，属于晶圆生产设备技术领域。单片晶圆清洗装置晶圆支撑盘上支撑柱驱动结构的转动件的外环上具有外齿，外齿同时与支撑柱驱动齿轮和配重体相啮合，配重体对转动件的转动起到了阻尼的作用，同时阻尼作...
该专利属于江苏亚电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏亚电科技股份有限公司授权不得商用。

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