【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术主要涉及一种微机电装置，更具体地说涉及一种具有双向微机 电元件的微机电装置，例如开关或继电器。
技术介绍
诸如开关或继电器之类的微机电装置可以供传统的机电装置选择使 用。使用传统的半导体方法建立起来的微机电装置的优点是可编程性和减 小的尺寸，这样能够具有更小的形状系数以及相应地减小了功率消耗、响 应时间并降低了成本。使用传统的微机电开关和继电器的一个应用是电信交换连接装置。在 这些应用中，微机电开关或继电器可能被接合到一个位置几周或几年的时 间。众所周知，例如在微机电开关和继电器的元件中发现的，在外力作用 下的金属在外力去除时呈现出了永久的变形。这种现象称作机械蠕变 (mechanical creep)。如果由机械蠕变造成的变形足够大，例如从微机电开 关或继电器的伸展的封闭物上发现的，则微机电开关或继电器可能会随着 时间的过去而不能用。在电信工业中寻求装置有15-20年的使用寿命的可靠性需求是常见 的。基于电信工业的这种需求以及金属微机电开关和继电器的固有机械蠕 变，传统的微机电装置不可能满足电信工业的需要。因此，现有技术中所需的就是例如在电信工业中寻...
【技术保护点】
一种双向微机电元件，包括： 具有自由端和第一端的冷柱，所述第一端连接到冷柱锚定件，所述冷柱锚定件连接到基板； 第一柱对，该第一柱对由自由端拴紧件连接到所述冷柱，并且配置成当被加热从而达到比所述冷柱的温度更高的温度时伸长；以及 第二柱对，该第二柱对位于所述冷柱的与第一柱对相对的一侧上，并且由所述自由端拴紧件连接到所述第一柱对和所述冷柱，所述第二柱对配置成在被加热从而到达所述的更高的温度时伸长。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：阿尔曼加斯帕安，约翰梵纳他盖茨，玛丽亚埃利娜西蒙，
申请(专利权)人：朗讯科技公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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