一种自动加料装置与蒸镀机制造方法及图纸

本技术提供一种自动加料装置与蒸镀机，包括料仓、驱动装置、重力传感器、容器和信号处理器，料仓用于放置金属源材料，料仓的出料口设有伸缩阀门；驱动装置与伸缩阀门连接以控制出料口打开或关闭；重力传感器位于出料口下方；容器位于重力传感器上，料仓中的金属源材料能通过出料口进入容器中；信号处理器与重力传感器及驱动装置电连接，重力传感器的信号反馈至信号处理器，由信号处理器控制驱动装置打开或关闭出料口。本技术中通过重力传感器、信号处理器和驱动装置，实现坩埚自动加源，避免人工加源引入杂质，减少称量时间；另外，设置检测结构能够避免金属源加错导致溅料，且能够检测坩埚中金属源材料是否含有杂质，避免杂质引起溅料。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于晶圆加工领域，涉及一种自动加料装置与蒸镀机。

技术介绍

1、晶圆的加工过程中涉及到金属沉积，目前金属沉积主要由两种方式：磁控溅射与蒸镀。蒸镀的主要原理是电子束在高压下加速，经过强磁场偏转，撞击靶材，使蒸发源加热，且加热的范围可局限在蒸发源表面。通常金属沉积采用多种金属材料，采用多个坩锅装放不同蒸发材料排成一圈，需要蒸发哪一种材料就将对应的坩埚转到电子束轰击位置。

2、在生产制造中，每批产品都会消耗坩埚中一定数量的金属源，因此在进行工艺之前需要人工对金属源称重并进行添加，在添加金属源的过程中，肉眼难分辨不同源料之间的差异，若加错源料颗粒，在蒸镀过程中，不同金属的比热容不同，热胀冷缩比例不同，容易发生溅射，溅射时部分金属为液态，飞溅的液态金属碰到晶圆，会将晶圆融化，导致大批量报废，且会导致不同坩埚中的金属源交叉污染。同时，工艺过程遗留的表面杂质以及人工取放源料过程引入的杂质，同样是溅源的主要原因，当前避免表面杂质的主要手段是在加源前人工观察，以及对机台和坩埚的清理，具有极大主观性，极容易误判、漏看，导致溅源报废。>

3、因此，如本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种自动加料装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的自动加料装置，其特征在于：还包括检测结构，所述检测结构包括X射线发射器和X射线接收器，所述X射线发射器发射的X射线照射至所述容器中的金属源材料，以获取所述容器中的金属源材料的X射线反射信息光谱。

3.根据权利要求2所述的自动加料装置，其特征在于：所述检测机构还包括存储器，所述存储器与所述X射线接收器连接，以存储所述X射线反射信息光谱。

4.根据权利要求2所述的自动加料装置，其特征在于：还包括旋转结构，所述旋转结构用于带动所述容器旋转。

5.根据权利要求1所述的自动加料装置，其...

【技术特征摘要】

1.一种自动加料装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的自动加料装置，其特征在于：还包括检测结构，所述检测结构包括x射线发射器和x射线接收器，所述x射线发射器发射的x射线照射至所述容器中的金属源材料，以获取所述容器中的金属源材料的x射线反射信息光谱。

3.根据权利要求2所述的自动加料装置，其特征在于：所述检测机构还包括存储器，所述存储器与所述x射线接收器连接，以存储所述x射线反射信息光谱。

4.根据权利要求2所述的自动加料装置，其特征在于：还包括旋转结构，所述旋转结构用于带动所述容器旋转。

5.根据权利要求1所述的自动加料装...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘浩，
申请(专利权)人：芯恩青岛集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：