【技术实现步骤摘要】
本技术涉及靶材生产，尤其涉及一种磁性靶材透磁率的测试装置。
技术介绍
1、磁性靶材的透磁率（ptf），是磁场从靶材一面透过到另一面的比率，是磁性靶材的一个重要技术指标。申请号为200620134206.4的专利公开了一种盘状磁性靶材ptf的测试装置，它包括靶台、马蹄形永磁铁、霍尔探针，马蹄形永磁铁设置在靶台下部，霍尔探针设置在靶台上部，所述的靶台下中部一体连接有靶台支柱，在靶台的上表面中部设有定位凹孔，在该凹孔内插有校准套，在靶台上一侧还设置有两个定位轴承，其可以测试直径、厚度在一定范围内的盘状磁性靶材的ptf，但是，其靶台的平面尺寸大于靶材的平面尺寸，靶材的边缘不从靶台的边缘露出，且靶台固定不动，对于没有中心孔的靶材，在转动时需要施力使靶材的一侧始终与两个轴承接触，而靶材的厚度一般又比较薄不容易从侧面施力，只能靠手指作用在靶材上表面的摩擦力来使靶材转动且使其一侧始终与两个轴承接触，还要克服靶材与靶台或者垫圈之间的摩擦力，因此在转动靶材时较为不便。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问...
【技术保护点】
1.一种磁性靶材透磁率的测试装置，包括底座（1），所述底座（1）的一侧设置有立柱（3），其特征在于：所述立柱（3）上设置有能上下移动的悬臂（4），所述悬臂（4）上设置有霍尔探头（5），所述霍尔探头（5）的正下方设置有磁源体（2），所述磁源体（2）固定在底座（1）上，所述底座（1）上还滑动连接有移动座（8），所述移动座（8）上设置有立轴（81），所述立轴（81）的顶端转动连接有载物台（7），所述载物台（7）的底面高于磁源体（2）的顶面，所述载物台（7）的顶面低于霍尔探头（5）的底面，所述载物台（7）上设置有用来固定靶材的夹具（6）。
2.根据权利要求1所述的...
【技术特征摘要】
1.一种磁性靶材透磁率的测试装置，包括底座（1），所述底座（1）的一侧设置有立柱（3），其特征在于：所述立柱（3）上设置有能上下移动的悬臂（4），所述悬臂（4）上设置有霍尔探头（5），所述霍尔探头（5）的正下方设置有磁源体（2），所述磁源体（2）固定在底座（1）上，所述底座（1）上还滑动连接有移动座（8），所述移动座（8）上设置有立轴（81），所述立轴（81）的顶端转动连接有载物台（7），所述载物台（7）的底面高于磁源体（2）的顶面，所述载物台（7）的顶面低于霍尔探头（5）的底面，所述载物台（7）上设置有用来固定靶材的夹具（6）。
2.根据权利要求1所述的一种磁性靶材透磁率的测试装置，其特征在于：所述载物台（7）顶面的两侧设置有凸块（71），该两个凸块（71）关于载物台（7）的轴线对称，所述夹具（6）包括夹片（61），所述夹片（61）上设置有导向槽（611），所述夹片（61）的一侧设置有凹槽（612），所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王海琴，施玉良，徐文斌，
申请(专利权)人：盐城法柯特科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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