一种铁磁靶材的冷结合方法以及用于该方法的装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及靶材生产技术领域，尤其涉及一种铁磁靶材的冷结合方法以及用于该方法的装置。先生产出坯板和成品靶坯，之后再对两者进行涂铟，然后将两者具有铟层的一面相对得到得到组合靶件，再将组合靶件放置在真空环境中并施加压力使两者上的铟层结合在一起，得到半成品靶材，再对半成品靶材进行加工，得到成品靶材。用于铁磁靶材的冷结合方法的装置，可产生真空环境并对组合靶件进行压合。本发明专利技术的方法不用进行加热，所以靶材在压合的过程中基本不会产生弯曲。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及靶材生产，尤其涉及一种铁磁靶材的冷结合方法以及用于该方法的装置。

技术介绍

1、铁磁靶材由于对磁场有屏蔽作用，磁场不易从具有铁磁性的靶坯中穿过，因此靶坯需要做的比较薄，而背板需要做的比较厚。图5中所示为一种常用的铁磁靶材，其包括背板4和靶坯5，现有技术中两者之间通过铟钎焊在一起，背板4的材料一般为铜合金，比如铜锆合金等，靶坯5为镍铁合金或者其他铁磁性材料，在钎焊时，需要将两者的温度加热到铟的熔点以上，而由于铜合金的热膨胀系大于镍铁的热膨胀系数较多，在钎焊完成冷却后，铁磁靶材会发生较大的弯曲。为解决此问题，申请号为201911395580.8的专利公开了一种高性能铁磁性靶材的制备方法，首先准备靶坯和背板，将靶坯加工至成品厚度尺寸，然后采用温差法焊接，保证靶材平面度，通过振动时效消除焊接内应力，最后通过加工背板完成靶材成品制备，该方法适用于制备直径为φ300-450mm的大面积靶坯，采用该方法制备的大面积高纯铁磁性金属靶材厚度均匀性好，焊接应力小。本专利技术提供了一种不用加热就可以使背板和靶材结合在一起的方法，从而能避免现有技术的靶材在钎焊后弯曲本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种铁磁靶材的冷结合方法，其特征在于包括以下步骤：

2.用于权利要求1所述的一种铁磁靶材的冷结合方法的装置，其特征在于：包括底座筒（1）和压合件（2），所述底座筒（1）内部为空腔且顶部为开口，所述底座筒（1）筒壁的顶面设置有凹槽（14），所述凹槽（14）内设置有密封圈（16），所述底座筒（1）下部的一侧设置有与其内部空腔连通的排气管（15），所述底座筒（1）的外部设置有多个支撑块（11），所述支撑块（11）上设置有螺纹孔，所述螺纹孔螺纹连接有螺栓（17），所述螺栓（17）的头部位于支撑块（11）上方，所述压合件（2）包括用来插入底座筒（1）内且与其滑动连接的导向部（22）...

【技术特征摘要】

1.一种铁磁靶材的冷结合方法，其特征在于包括以下步骤：

2.用于权利要求1所述的一种铁磁靶材的冷结合方法的装置，其特征在于：包括底座筒（1）和压合件（2），所述底座筒（1）内部为空腔且顶部为开口，所述底座筒（1）筒壁的顶面设置有凹槽（14），所述凹槽（14）内设置有密封圈（16），所述底座筒（1）下部的一侧设置有与其内部空腔连通的排气管（15），所述底座筒（1）的外部设置有多个支撑块（11），所述支撑块（11）上设置有螺纹孔，所述螺纹孔螺纹连接有螺栓（17），所述螺栓（17）的头部位于支撑块（11）上方，所述压合件（2）包括用来插入底座筒（1）内且与其滑动连接的导向部（22），所述导向部（22）的下端设置有压头（23），所述导向部（22）的上端设置有盘体（21），所述盘体（21）的底面设置有用来插入凹槽（14）内且与密封圈（16）的顶面接触从而起到密封作用的密封压环（24）。

3.根据权利要求2所述的用于铁磁靶材...

【专利技术属性】
技术研发人员：施玉良，徐文斌，王海琴，
申请(专利权)人：盐城法柯特科技有限公司，
类型：发明
国别省市：