基于IMP的智能束流调校方法、装置、设备及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术涉及信息处理技术领域，尤其涉及一种基于IMP的智能束流调校方法、装置、设备及存储介质，通过KVM切换器实时获取每台IMP机台的操作界面图像，利用OCR视觉算法识别并提取操作界面图像中的当前束流参数和实时状态标识，获取当前晶圆批次号的工艺要求数据，将参数及状态数据和工艺要求数据进行整合，对整合数据进行数据清洗和归一化处理，得到预处理数据集，利用AI决策模型基于预处理数据集分析当前机台束流状态与目标工艺要求的差异信息，并根据差异信息计算出最优束流调校参数，提高调校精准度，适配复杂工艺要求，根据最优束流调校参数生成控制指令，IMP机台根据控制指令调整相关硬件模块参数，提升智能化水平。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及信息处理，尤其涉及一种基于imp的智能束流调校方法、装置、设备及存储介质。

技术介绍

1、在半导体离子注入工艺中，imp机台（离子注入机）的束流调校是关键环节，直接影响离子注入的剂量、能量等参数精度，关乎芯片制造良率。传统束流调校过程依赖人工操作或简单程序控制，存在效率低、精度受人为因素影响大、对复杂工况适配性差等问题。随着半导体技术不断向更小节点推进，对束流调校的智能化、自动化与高精度要求愈发迫切，亟需一种集成多系统、利用ai算法优化的束流调校方案。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种提升智能化与自动化水平，减少人为误差，提高调校精准度，适配复杂工艺要求，提高机台运行效率，缩短工艺等待时间的基于imp的智能束流调校方法、装置、设备及存储介质。

2、本专利技术第一方面提供了一种基于imp的智能束流调校方法，包括：通过kvm切换器实时获取每台imp机台的操作界面图像，利用ocr视觉算法识别并提取所述操作界面图像中的当前束流参数和实时状态标识；将所述当本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于IMP的智能束流调校方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的基于IMP的智能束流调校方法，其特征在于，所述通过KVM切换器实时获取每台IMP机台的操作界面图像，利用OCR视觉算法识别并提取所述操作界面图像中的当前束流参数和实时状态标识，包括：

3.根据权利要求1所述的基于IMP的智能束流调校方法，其特征在于，所述将所述当前束流参数和所述实时状态标识转化为结构化的参数及状态数据，从EAP第三方系统中获取当前晶圆批次号的工艺要求数据，包括：

4.根据权利要求1所述的基于IMP的智能束流调校方法，其特征在于，所述将所述参数及状态数据和所...

【技术特征摘要】

1.一种基于imp的智能束流调校方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的基于imp的智能束流调校方法，其特征在于，所述通过kvm切换器实时获取每台imp机台的操作界面图像，利用ocr视觉算法识别并提取所述操作界面图像中的当前束流参数和实时状态标识，包括：

3.根据权利要求1所述的基于imp的智能束流调校方法，其特征在于，所述将所述当前束流参数和所述实时状态标识转化为结构化的参数及状态数据，从eap第三方系统中获取当前晶圆批次号的工艺要求数据，包括：

4.根据权利要求1所述的基于imp的智能束流调校方法，其特征在于，所述将所述参数及状态数据和所述工艺要求数据进行整合，得到整合数据，对所述整合数据进行数据清洗和归一化处理，得到预处理数据集，包括：

5.根据权利要求1所述的基于imp的智能束流调校方法，其特征在于，所述将所述预处理数据集输入到预设的ai决策模型中，利用所述ai决策模型基于所述预处理数据集分析当前机台束流状态与目标工艺要求的差异信息，并根据所述差异信息计算出最优束流调校参数，对所述最优束流调校参数进行合规...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅慧初，李俊敏，付锦超，刘斌，李倓，李杰，
申请(专利权)人：埃克斯控股北京有限公司，
类型：发明
国别省市：