半导体生产数据管理方法、系统以及可读存储介质技术方案

技术编号:46331837 阅读:6 留言:0更新日期:2025-09-09 19:10
本发明专利技术公开了一种半导体生产数据管理方法、系统以及可读存储介质,所述方法包括以下步骤:根据目标采集生产线上各机台的目标数据,所述目标数据包括机台的实时运行参数及检测数据;按预设的数据标准规范对所述目标数据进行处理,得到标准化数据;将所述标准化数据进行分类存储,根据业务部门需求创建数据集市及数据资源目录;通过所述数据集市及数据资源目录查找并输出业务部门所需的数据,并生成数据分析报告。本发明专利技术将半导体生产数据的分散数据集中统一管理,保障了数据质量,提高了数据共享与协同,实现了数据重复利用,降低了成本,方便了操作管理。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造,具体涉及一种半导体生产数据管理方法、系统以及可读存储介质


技术介绍

1、近年来,电子消费类产品广泛渗透于日常生活,半导体材料作为其核心技术基础,使半导体行业在全球备受关注,成为各国研发与产业布局重点。在集成电路产品制造中,工艺流程复杂,需众多设计软件系统协同,数据源多样,如oracle、sql server等主流关系型数据库。不同系统间数据交互主要依赖接口、文件等方式。

2、现有数据库系统已无法满足大规模工程数据分析需求,如g/b model分析、fdc根因分析等。当前急需一种平台,以实现“稳固基建降本增效,智能分析提升良率”为目标。通过构建新的大数据底座,助力提升数据分析效能,丰富数据应用场景。

3、大数据基座融合互联网与半导体晶圆代工业务,工业大数据技术及应用对晶合集成提升生产力、竞争力、创新能力至关重要,是驱动产品、生产过程、管理、服务智能化,构建智能化生产和研发数据底座的关键,对其成为全球领先的面板驱动晶圆代工厂及中国卓越的集成电路专业制造公司具有重要推动作用。此外,大数据基座提升了数据可用性,使本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体生产数据管理方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的半导体生产数据管理方法,其特征在于,所述确定半导体生产目标,根据所述目标采集生产线上各机台的目标数据,所述目标数据包括机台的实时运行参数及检测数据的步骤还包括:

3.根据权利要求2所述的半导体生产数据管理方法,其特征在于,所述数据编码标准包括产品型号、原材料种类的编码标准;所述运行参数属性包括机台参数数据的单位及精度。

4.根据权利要求3所述的半导体生产数据管理方法,其特征在于,所述按预设的数据标准规范对所述目标数据进行处理,得到标准化数据的步骤还包括:

...

【技术特征摘要】

1.一种半导体生产数据管理方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的半导体生产数据管理方法,其特征在于,所述确定半导体生产目标,根据所述目标采集生产线上各机台的目标数据,所述目标数据包括机台的实时运行参数及检测数据的步骤还包括:

3.根据权利要求2所述的半导体生产数据管理方法,其特征在于,所述数据编码标准包括产品型号、原材料种类的编码标准;所述运行参数属性包括机台参数数据的单位及精度。

4.根据权利要求3所述的半导体生产数据管理方法,其特征在于,所述按预设的数据标准规范对所述目标数据进行处理,得到标准化数据的步骤还包括:

5.根据权利要求1所述的半导体生产数据管理方法,其特征在于,所述将所述标准化数据进行分类存储的步骤包括:

6.根据权利要求5所...

【专利技术属性】
技术研发人员:李杰刘斌郭宇翔傅慧初宋泰然李倓
申请(专利权)人:埃克斯控股北京有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1