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本发明涉及信息处理技术领域，尤其涉及一种基于IMP的智能束流调校方法、装置、设备及存储介质，通过KVM切换器实时获取每台IMP机台的操作界面图像，利用OCR视觉算法识别并提取操作界面图像中的当前束流参数和实时状态标识，获取当前晶圆批次号的工...
该专利属于埃克斯控股（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃克斯控股（北京）有限公司授权不得商用。

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