【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及抛光，具体是一种具有自清洁功能的半导体铝板抛光装置。
技术介绍
1、半导体铝板是指在半导体制造过程中使用的铝或铝合金板材，主要用于电极、导线、封装基板、散热组件等关键部件的制造，铝因其优异的导电性、导热性、轻质及可加工性，成为半导体工艺中的重要材料之一，半导体制造涉及多层光刻、刻蚀和薄膜沉积工艺，任何表面不平整都会导致后续工序的误差，化学抛光通过机械研磨与化学腐蚀结合，使铝表面达到纳米级平坦化，满足先进制程的精度要求，抛光后的铝表面更光滑、减少电阻损耗、增强导电性能，此外抛光可优化界面接触，提高热传导效率，确保大功率器件的长期稳定性，因此铝板表面的抛光工艺非常重要，然而现有的抛光设备无法将产生的尘末及时地清除，残留在抛光轮或者铝板上，仍需要额外的工艺进行处理，降低了处理效率。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种具有自清洁功能的半导体铝板抛光装置，以解决现有技术中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种具有自清洁功能的半导体铝板...
【技术保护点】
1.一种具有自清洁功能的半导体铝板抛光装置，其特征在于：包括主机箱(1)，所述主机箱(1)的两侧均设置有输料线，主机箱(1)内部从下而上依次设置有底层隔板(2)、中层隔板(3)和上层隔板(4)，主机箱(1)的内部设置有若干对送料组件、第一变位器(18)、第二变位器(19)、第一驱动机(26)和第二驱动机(27)，所述第一变位器(18)与第二变位器(19)结构相同，所述第一驱动机(26)与第二驱动机(27)结构相同，所述第一变位器(18)和第二变位器(19)之间安装有前抛光组件和后抛光组件，所述第一驱动机(26)驱动前抛光组件，所述第二驱动机(27)驱动后抛光组件。p>
2.根据权...
【技术特征摘要】
1.一种具有自清洁功能的半导体铝板抛光装置，其特征在于：包括主机箱(1)，所述主机箱(1)的两侧均设置有输料线，主机箱(1)内部从下而上依次设置有底层隔板(2)、中层隔板(3)和上层隔板(4)，主机箱(1)的内部设置有若干对送料组件、第一变位器(18)、第二变位器(19)、第一驱动机(26)和第二驱动机(27)，所述第一变位器(18)与第二变位器(19)结构相同，所述第一驱动机(26)与第二驱动机(27)结构相同，所述第一变位器(18)和第二变位器(19)之间安装有前抛光组件和后抛光组件，所述第一驱动机(26)驱动前抛光组件，所述第二驱动机(27)驱动后抛光组件。
2.根据权利要求1所述的一种具有自清洁功能的半导体铝板抛光装置，其特征在于：若干对所述送料组件设置在中层隔板(3)上，每个送料组件包括传送柱(6)、滑块(7)和传送辊(8)，所述滑块(7)滑动安装在传送柱(6)中，滑块(7)与传送柱(6)之间设置有推簧，所述传送辊(8)转动安装在滑块(7)上，传送辊(8)的一侧设置有驱动电机，所述中层隔板(3)的中部还滚动安装有若干个小滚轮(5)。
3.根据权利要求1所述的一种具有自清洁功能的半导体铝板抛光装置，其特征在于：所述主机箱(1)的一侧设置有双头电机(13)，所述双头电机(13)上安装有主驱轴(14)，所述主驱轴(14)的两端均设置有主动锥齿轮(15)，所述主机箱(1)内部转动安装有两个双头螺杆(17)，一个双头螺杆(17)位于上层隔板(4)下方，另一个双头螺杆(17)位于底层隔板(2)上方，两个双头螺杆(17)的一端贯穿主机箱(1)，两个双头螺杆(17)上均安装有从动锥齿轮(16)，两个所述从动锥齿轮(16)分别与两个主动锥齿轮(15)相啮合，两个双头螺杆(17)中的两组螺纹旋向相反。
4.根据权利要求3所述的一种具有自清洁功能的半导体铝板抛光装置，其特征在于：所述第一变位器(18)包括上叉悬臂(20)和下叉悬臂(21)，所述上叉悬臂(20)与下叉悬臂(21)上下对称安装，上叉悬臂(20)由一个螺母滑块和两根支臂组成，上叉悬臂(20)与下叉悬臂(21)的螺母滑块分别与两个双头螺杆(17)螺纹连接，两个螺母滑块与主机箱(1)滑接，上叉悬臂(20)与下叉悬臂(21)的两根支臂上均开设有安装孔。
5.根据权利要求4所述的一种具有自清洁功能的半导体铝板...
【专利技术属性】
技术研发人员：华巍，王志勇，
申请(专利权)人：江苏芯航东方科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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