一种半导体铝板生产用打磨装置制造方法及图纸

技术编号:36323924 阅读:58 留言:0更新日期:2023-01-13 11:09
本实用新型专利技术涉及一种半导体铝板生产用打磨装置,包括仓体,所述仓体的顶部固定安装有架体,所述架体的内顶壁设置有打磨机构,所述仓体的内部设置有贯穿并延伸到仓体上方的移动机构,所述移动机构的顶部设置有收集机构,所述收集机构的顶部设置有定位机构,所述移动机构包括第一螺纹杆,所述第一螺纹杆的左侧转动连接在仓体的内壁左侧,所述第一螺纹杆的右侧转动连接在仓体的内壁右侧。该半导体铝板生产用打磨装置,通过设置移动机构,不仅便于带动铝板进行左右移动,而且稳定性好,减少了在打磨时移动的情况发生,提高了打磨效率,降低了对铝板品质造成的影响,从而具备高效打磨的优点,方便了使用。方便了使用。方便了使用。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体铝板生产用打磨装置


[0001]本技术涉及铝板生产
,具体为一种半导体铝板生产用打磨装置。

技术介绍

[0002]刻蚀是半导体制造工艺,微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤,是与光刻相联系的图形化处理的一种主要工艺,这种设备需要极高精度的铝板,铝板是指用铝锭轧制加工而成的矩形板材,分为纯铝板,合金铝板,薄铝板,中厚铝板,花纹铝板。
[0003]在对铝板进行生产时,需要使用打磨装置对铝板进行打磨,工作人员先对铝板进行定位,然后开启打磨机构对铝板进行打磨,虽然现有的打磨装置便于带动铝板进行左右移动,可以对铝板不同的位置进行打磨,但是稳定性不佳,在打磨时可能会发生移动,降低了打磨效率,影响了铝板品质,需要进行改进。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足,本技术提供了一种半导体铝板生产用打磨装置,具备高效打磨等优点,解决了现有的打磨装置便于带动铝板进行左右移动,可以对铝板不同的位置进行打磨,但是稳定性不佳,在打磨时可能会发生移动,降低了打磨效率,影响了铝板品质的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种半导体铝板生产用打磨装置,包括仓体,所述仓体的顶部固定安装有架体,所述架体的内顶壁设置有打磨机构,所述仓体的内部设置有贯穿并延伸到仓体上方的移动机构,所述移动机构的顶部设置有收集机构,所述收集机构的顶部设置有定位机构;
[0006]所述移动机构包括第一螺纹杆,所述第一螺纹杆的左侧转动连接在仓体的内壁左侧,所述第一螺纹杆的右侧转动连接在仓体的内壁右侧,所述仓体的内底壁转动安装有一端贯穿并延伸到仓体上方的蜗杆,所述第一螺纹杆的外部固定安装有与蜗杆相啮合的蜗轮,所述第一螺纹杆的外部且位于蜗轮的左侧螺纹安装有数量为两个的螺纹套,两个所述螺纹套均与第一螺纹杆相匹配,所述螺纹套的顶部固定安装有移动柱,两个所述移动柱的顶部均贯穿仓体并与收集机构固定连接。
[0007]进一步,所述打磨机构包括电动推杆,所述电动推杆固定连接在架体的内顶壁,所述电动推杆的输出端固定安装有电机,所述电机的输出端固定安装有连接杆,所述连接杆的底部固定安装有打磨盘。
[0008]进一步,所述第一螺纹杆和蜗杆均通过轴承与仓体转动连接,所述蜗杆的顶部固定安装有手轮。
[0009]进一步,所述仓体的内底壁开设有限位槽,两个所述螺纹套的底部均固定安装有一端延伸到限位槽内部的限位杆,所述限位槽与两个限位杆的移动范围相匹配,所述仓体的顶部开设有移动孔,所述移动孔与两个移动柱的移动范围相匹配。
[0010]进一步,所述收集机构包括箱体,两个所述移动柱的顶部均与箱体固定连接,所述箱体的内部固定安装有过滤网,所述箱体的内底壁固定安装有气泵。
[0011]进一步,所述箱体的正面嵌设有箱门,所述箱体的顶部开设有数量为多个的吸气孔,所述气泵的进气口连通有进气管,所述气泵的出气口连通有一端贯穿并延伸到箱体左侧的出气管。
[0012]进一步,所述定位机构包括数量为两个的竖板,两个所述竖板均固定连接在箱体的顶部,所述竖板相对的一侧固定安装有横板,所述竖板相对的一侧且位于横板的上方固定安装有安装板,所述安装板的顶部螺纹安装有一端贯穿并延伸到安装板下方的第二螺纹杆,所述第二螺纹杆的底部固定安装有定位板。
[0013]进一步,所述第二螺纹杆的顶部固定安装有旋钮,所述安装板的顶部开设有螺纹孔,所述螺纹孔与第二螺纹杆相匹配。
[0014]与现有技术相比,本申请的技术方案具备以下有益效果:
[0015]1、该半导体铝板生产用打磨装置,通过设置移动机构,不仅便于带动铝板进行左右移动,而且稳定性好,减少了在打磨时移动的情况发生,提高了打磨效率,降低了对铝板品质造成的影响,从而具备高效打磨的优点,方便了使用。
[0016]2、该半导体铝板生产用打磨装置,通过设置收集机构和定位机构,定位机构将铝板进行夹持,在打磨时产生的碎屑飘落到收集机构的上方,然后收集机构将碎屑吸入到收集机构的内部,降低了碎屑对环境造成的污染,减轻了清理负担,从而具备收集碎屑的优点,方便了使用。
附图说明
[0017]图1为本技术结构示意图;
[0018]图2为本技术图1中A处放大图;
[0019]图3为本技术正视图。
[0020]图中:1仓体、2架体、3打磨机构、4移动机构、41第一螺纹杆、42蜗杆、421手轮、43蜗轮、44螺纹套、45移动柱、5收集机构、51箱体、52过滤网、53气泵、6定位机构、61竖板、62横板、63安装板、64第二螺纹杆、641旋钮、65定位板。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1

3,本实施例中的一种半导体铝板生产用打磨装置,包括仓体1,仓体1的顶部固定安装有架体2,架体2的内顶壁设置有打磨机构3,仓体1的内部设置有贯穿并延伸到仓体1上方的移动机构4,移动机构4的顶部设置有收集机构5,收集机构5的顶部设置有定位机构6;
[0023]移动机构4包括第一螺纹杆41,第一螺纹杆41的左侧转动连接在仓体1的内壁左侧,第一螺纹杆41的右侧转动连接在仓体1的内壁右侧,仓体1的内底壁转动安装有一端贯
穿并延伸到仓体1上方的蜗杆42,第一螺纹杆41的外部固定安装有与蜗杆42相啮合的蜗轮43,第一螺纹杆41的外部且位于蜗轮43的左侧螺纹安装有数量为两个的螺纹套44,两个螺纹套44均与第一螺纹杆41相匹配,螺纹套44的顶部固定安装有移动柱45,两个移动柱45的顶部均贯穿仓体1并与收集机构5固定连接。
[0024]具体的,通过转动蜗杆42,蜗杆42带动蜗轮43进行旋转,蜗轮43带动第一螺纹杆41进行旋转,第一螺纹杆41带动两个螺纹套44同时向左进行移动或同时向右进行移动,两个螺纹套44通过两个移动柱45可以带动收集机构5、定位机构6和铝板进行移动,便于对铝板左右不同的位置进行打磨,由于蜗杆42和蜗轮43具有自锁功能,不仅便于带动铝板进行左右移动,而且稳定性好,减少了在打磨时移动的情况发生,提高了打磨效率,降低了对铝板品质造成的影响。
[0025]本实施例中,打磨机构3包括电动推杆,电动推杆固定连接在架体2的内顶壁,电动推杆的输出端固定安装有电机,电机的输出端固定安装有连接杆,连接杆的底部固定安装有打磨盘,通过开启电机,电机带动连接杆和打磨盘进行旋转,通过开启电动推杆,电动推杆带动打磨盘向下进行移动,使打磨盘对铝板的顶部进行打磨。
[0026]本实施例中,第一螺纹杆41和蜗杆42均通过轴承与仓体1转动连接,蜗杆42的顶部固定安装有手轮421,转动手轮4本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体铝板生产用打磨装置,包括仓体(1),其特征在于:所述仓体(1)的顶部固定安装有架体(2),所述架体(2)的内顶壁设置有打磨机构(3),所述仓体(1)的内部设置有贯穿并延伸到仓体(1)上方的移动机构(4),所述移动机构(4)的顶部设置有收集机构(5),所述收集机构(5)的顶部设置有定位机构(6);所述移动机构(4)包括第一螺纹杆(41),所述第一螺纹杆(41)的左侧转动连接在仓体(1)的内壁左侧,所述第一螺纹杆(41)的右侧转动连接在仓体(1)的内壁右侧,所述仓体(1)的内底壁转动安装有一端贯穿并延伸到仓体(1)上方的蜗杆(42),所述第一螺纹杆(41)的外部固定安装有与蜗杆(42)相啮合的蜗轮(43),所述第一螺纹杆(41)的外部且位于蜗轮(43)的左侧螺纹安装有数量为两个的螺纹套(44),两个所述螺纹套(44)均与第一螺纹杆(41)相匹配,所述螺纹套(44)的顶部固定安装有移动柱(45),两个所述移动柱(45)的顶部均贯穿仓体(1)并与收集机构(5)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种半导体铝板生产用打磨装置,其特征在于:所述打磨机构(3)包括电动推杆,所述电动推杆固定连接在架体(2)的内顶壁,所述电动推杆的输出端固定安装有电机,所述电机的输出端固定安装有连接杆,所述连接杆的底部固定安装有打磨盘。3.根据权利要求1所述的一种半导体铝板生产用打磨装置,其特征在于:所述第一螺纹杆(41)和蜗杆(42)均通过轴承与仓体(1)转动连接,所述蜗杆(42)的顶部固定安装有手轮(421)。4.根据权利要求1所述的一种半导体铝板生产用打磨装置,其特征在于:所...

【专利技术属性】
技术研发人员:华巍赵海龙
申请(专利权)人:江苏芯航东方科技有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1