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一种具有自清洁功能的半导体铝板抛光装置制造方法及图纸
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下载一种具有自清洁功能的半导体铝板抛光装置的技术资料
文档序号:46097872
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本发明公开了一种具有自清洁功能的半导体铝板抛光装置,涉及抛光技术领域,包括主机箱,所述主机箱的两侧均设置有输料线,主机箱内部从下而上依次设置有底层隔板、中层隔板和上层隔板,主机箱的内部设置有若干对送料组件、第一变位器、第二变位器、第一驱动机...
该专利属于江苏芯航东方科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏芯航东方科技有限公司授权不得商用。
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