【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光电材料，特别涉及一种多元素掺杂共生氧化锌晶须高电导高密度溅射靶材的制备方法及其产品。
技术介绍
1、磁控溅射镀膜是一种新型的物理气相镀膜方式，就是用电子枪系统把电子发射并聚焦在被镀的材料上，使其被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离材料飞向基片淀积成膜，这种被镀的材料就叫溅射靶材。溅射靶材主要应用于电子及信息产业，如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等；亦可应用于玻璃镀膜领域；还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。氧化锌价格低廉，原料丰富，在氢离子气氛中稳定，不仅能制成良好的半导体和压电薄膜，亦能通过掺杂制成良好的透明导电薄膜，而掺杂氧化锌靶材的质量优劣直接决定着薄膜的质量好坏。
2、目前，掺杂氧化锌靶材的制备方法主要为将锌盐和掺杂元素的盐混合后，在高温下烧结，或是将锌盐与掺杂元素的盐溶解后，再进行共沉淀的方法将锌盐与掺杂元素的盐混合，再进行烧结。但都难以实现掺杂元素与锌的完整共生，所制备的溅射靶材电阻率较高，溅射靶材的导电性能和相对密度有待提高。
【技术保护点】
1.多元素掺杂共生氧化锌晶须高电导高密度溅射靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的多元素掺杂共生氧化锌晶须高电导高密度溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述制备掺杂共生氧化锌晶须粉末的步骤，包括：
3.根据权利要求2所述的多元素掺杂共生氧化锌晶须高电导高密度溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述掺杂元素包括铍、硼、碳、硅、磷、硫、钙、镁、钪、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、锗、砷、硒、溴、锶、钇、锆、铌、钼、锝、钌、铑、钯、银、镉、铟、锡、锑、碲、碘、钡、镧、铈、镨、钕、钷、钐、铕、钆、铽、镝、钬、铒、铥、镱、...
【技术特征摘要】
1.多元素掺杂共生氧化锌晶须高电导高密度溅射靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的多元素掺杂共生氧化锌晶须高电导高密度溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述制备掺杂共生氧化锌晶须粉末的步骤，包括：
3.根据权利要求2所述的多元素掺杂共生氧化锌晶须高电导高密度溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述掺杂元素包括铍、硼、碳、硅、磷、硫、钙、镁、钪、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、锗、砷、硒、溴、锶、钇、锆、铌、钼、锝、钌、铑、钯、银、镉、铟、锡、锑、碲、碘、钡、镧、铈、镨、钕、钷、钐、铕、钆、铽、镝、钬、铒、铥、镱、镥、铪、钽、钨、铼、锇、铱、铂、金、汞、铊、铅、铋、钋、砹、钫、镭、锕、针、镤、铀、镎、钚、镅、锔、锫、锎、锿、镄、钔、锘、铹、鑪、鎶、鉨、鈇、镆、鉝以及中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的多元素掺杂共生氧化锌晶须高电导高密度溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述在所述掺杂氧化锌晶须粉末中加入润湿剂和分散剂，进行球磨，获得一段研磨浆料的步骤，包括：
5...
【专利技术属性】
技术研发人员：戴祺又，刘德雄，温才，文乾隆，张紫茹，余健财，
申请(专利权)人：四川省普照光新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：
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