【技术实现步骤摘要】
本技术涉及芯片制造，尤其涉及一种密封存储装置及清洗设备。
技术介绍
1、在micro-led芯片的生产过程中，槽式清洗机的制程槽内的挥发性药液在槽式清洗机闲置时会逐渐挥发，产生非必要的药液损耗，导致生产成本增加，并且对生产人员和环境安全造成危害。
技术实现思路
1、为了解决现有技术中存在的问题，本技术的目的之一是提供一种密封存储装置。
2、本技术提供如下技术方案：
3、一种密封存储装置，包括：
4、密封槽，用于存储挥发性药液；
5、制程槽，用于进行清洗作业；
6、移液组件，连接所述密封槽和所述制程槽，所述移液组件用于将所述制程槽内的挥发性药液移送至所述密封槽，以及将所述密封槽内的挥发性药液移送至所述制程槽；以及
7、冷却件，设置于所述密封槽内部。
8、作为对所述密封存储装置的进一步可选的方案，所述冷却件包括冷却管，所述冷却管盘绕设置于所述密封槽内部，所述冷却管内通有冷却介质。
9、作为对所述密封...
【技术保护点】
1.一种密封存储装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的密封存储装置，其特征在于，所述冷却件包括冷却管，所述冷却管盘绕设置于所述密封槽内部，所述冷却管内通有冷却介质。
3.根据权利要求1所述的密封存储装置，其特征在于，所述密封存储装置还包括气压平衡组件，所述气压平衡组件设置于所述密封槽。
4.根据权利要求3所述的密封存储装置，其特征在于，所述气压平衡组件包括气压平衡管，所述气压平衡管的一端与所述密封槽连接，所述气压平衡管上设置有排气阀门。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的密封存储装置，其特征在于，所述移液组
【技术特征摘要】
1.一种密封存储装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的密封存储装置，其特征在于，所述冷却件包括冷却管，所述冷却管盘绕设置于所述密封槽内部，所述冷却管内通有冷却介质。
3.根据权利要求1所述的密封存储装置，其特征在于，所述密封存储装置还包括气压平衡组件，所述气压平衡组件设置于所述密封槽。
4.根据权利要求3所述的密封存储装置，其特征在于，所述气压平衡组件包括气压平衡管，所述气压平衡管的一端与所述密封槽连接，所述气压平衡管上设置有排气阀门。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的密封存储装置，其特征在于，所述移液组件包括：
6.根据权利要求5所述的密封存储装置，其特征在于，所述密封槽低于所...
【专利技术属性】
技术研发人员：李响，蔡政银，
申请(专利权)人：厦门思坦半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。