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本技术提供一种密封存储装置及清洗设备，涉及芯片制造技术领域。密封存储装置包括密封槽、制程槽、移液组件以及冷却件；密封槽用于存储挥发性药液；制程槽用于进行清洗作业；移液组件连接密封槽和制程槽；冷却件设置于密封槽内部。当清洗设备闲置时，移液组件...
该专利属于厦门思坦半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门思坦半导体有限公司授权不得商用。

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