一种批量生产小尺寸晶圆的晶圆载台结构制造技术

本发明专利技术公开了一种批量生产小尺寸晶圆的晶圆载台结构，涉及晶圆载台结构技术领域，本发明专利技术包括圆板，所述圆板顶面两边分别固定有L形板，所述圆板顶面开设有两个方槽，所述圆板顶面中间固定安装有散热壳，所述散热壳内部顶端固定安装有伺服电机，所述圆板顶面中贯穿且固定安装有环管，所述伺服电机的转轴底面固定有螺杆，所述螺杆的螺旋槽与环管内壁转动连接，所述螺杆的螺旋槽底部转动安装有十字环，所述十字环内壁与螺杆的螺旋槽相互啮合，本发明专利技术通过硅胶盘轻轻抵在晶圆上方，从而避免了高温向上的蒸膜会顶起小尺寸晶圆造成小尺寸晶圆蒸膜覆盖不全的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶圆载台结构，具体为一种批量生产小尺寸晶圆的晶圆载台结构。

技术介绍

1、小尺寸晶圆的晶圆载台是半导体制造中的关键部分，在小尺寸晶圆镀膜的过程中，晶圆载台为小尺寸晶圆提供稳定的支撑，确保小尺寸晶圆的平整度和稳定性，提高了小尺寸晶圆处理的效率和质量。

2、专利号为cn209039576u的专利公开了一种镀膜用的旋转夹具，包括承载座和旋转座，所述承载座上设置有供工件吊挂承载的承载孔，所述旋转座的侧面设置有用于将其固定在热处理炉料架上的安装孔，所述旋转座的表面设置有两个同心的圆弧孔，且两个所述圆弧孔分别位于安装孔的两侧，所述承载座上设有穿过圆弧孔且沿圆弧孔滑移的圆柱杆，所述圆柱杆远离承载座的一端设有与旋转座表面相抵的限位块，所述承载孔的开设方向与两个圆柱杆所在平面相平行，两个圆柱杆分别沿两个圆弧孔滑移，使得承载座可沿着旋转座转动固定在承载座上的工件在竖直面上可调节，具有在工装或料架有少量倾斜时仍然可以让工件保持垂直，这样工件在镀膜处理时可减少工件出现直线变形的情况。

3、但是目前镀膜用的旋转夹具存在以下问题：该镀膜用的旋转夹本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种批量生产小尺寸晶圆的晶圆载台结构，包括圆板，所述圆板顶面两边分别固定有L形板，所述圆板顶面开设有两个方槽，其特征在于：所述圆板顶面中间固定安装有散热壳，所述散热壳内部顶端固定安装有伺服电机，所述圆板顶面贯穿且固定安装有环管，所述伺服电机的转轴底面固定有螺杆，所述螺杆的螺旋槽与环管内壁转动连接，所述螺杆的螺旋槽底部转动安装有十字环，所述十字环内壁与螺杆的螺旋槽相互啮合，所述底盘固定在十字环外壁上，所述底盘顶面开设有若干小尺寸晶圆槽，所述底盘的若干小尺寸晶圆槽内部底端均开设有槽口，所述底盘顶面开设有若干滑槽，所述底盘的若干滑槽底面开设有圆口，所述圆板底面固定有若干硅胶盘，所述圆板底面...

【技术特征摘要】

1.一种批量生产小尺寸晶圆的晶圆载台结构，包括圆板，所述圆板顶面两边分别固定有l形板，所述圆板顶面开设有两个方槽，其特征在于：所述圆板顶面中间固定安装有散热壳，所述散热壳内部顶端固定安装有伺服电机，所述圆板顶面贯穿且固定安装有环管，所述伺服电机的转轴底面固定有螺杆，所述螺杆的螺旋槽与环管内壁转动连接，所述螺杆的螺旋槽底部转动安装有十字环，所述十字环内壁与螺杆的螺旋槽相互啮合，所述底盘固定在十字环外壁上，所述底盘顶面开设有若干小尺寸晶圆槽，所述底盘的若干小尺寸晶圆槽内部底端均开设有槽口，所述底盘顶面开设有若干滑槽，所述底盘的若干滑槽底面开设有圆口，所述圆板底面固定有若干硅胶盘，所述圆板底面固定有若干滑杆，若干所述滑杆外壁与底盘的若干滑槽内壁滑动连接，若干所述滑杆底面固定有圆块，所述底盘顶面设置有限位组件；

2.根据权利要求1所述的一种批量生产小尺寸晶圆的晶圆载台结构，其特征在于：两个所述l形板外壁均开设有两个螺栓孔，所述底盘的若干小尺寸晶圆槽均处在若干硅胶盘的运动轨迹上，所述底盘的若干圆口均处在圆块的运动轨迹上，两个所述斜块位于圆板的两个方槽上方，两个所述斜块的滑口相互靠近的一侧顶部均设置有弧面，两个所述斜块的滑口均处在两个弧头块的运动轨迹上。

3.根据权利要求2所述的一种批量生产小尺寸晶圆的晶圆载台结构，其特征在于：所述防卡顿装置包括l形条板、环板、半弧块和方板，所述l形条板分别固定在两个斜块底面，所述环板固定在两个l形条板相互靠近的一侧，所述环...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡正军，郭大为，杨根娣，
申请(专利权)人：上海智睿未来电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：