【技术实现步骤摘要】
本申请涉及金刚石加工，尤其涉及一种金刚石压敏膜制备方法和飞秒激光加工系统。
技术介绍
1、金刚石具有极高的硬度、优异的热导性、超宽的禁带宽度、高抗压强度、高击穿场强及出色的载流子迁移率等多种卓越性能。这些特性使其在微纳制造、高频高压器件、激光光学器件、生物传感等多个领域展现出广阔的应用前景。尤其在金刚石压力传感器的研究中，由金刚石构成的压敏膜因其高稳定性和耐极端环境能力而被广泛应用于高温、高压、强腐蚀等苛刻工况。
2、金刚石压力传感器的核心结构是微纳腔体，其几何结构的尺寸精度、表面质量(粗糙度)以及侧壁陡度对传感器的灵敏度、密封性和可靠性具有决定性影响。然而，基于金刚石的压敏腔加工面临极大挑战。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请提出了一种金刚石压敏膜制备方法和飞秒激光加工系统。
2、第一方面，本申请提供了一种金刚石压敏膜制备方法，包括：
3、提供金刚石基底，所述金刚石基底具有相对的第一表面和第二表面；
4、根据目标加工参数控制飞秒激光加工系...
【技术保护点】
1.一种金刚石压敏膜制备方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的金刚石压敏膜制备方法，其特征在于，所述根据目标加工参数控制飞秒激光加工系统对所述金刚石基底进行图形化处理之前，所述方法还包括：
3.如权利要求2所述的金刚石压敏膜制备方法，其特征在于，所述方法还包括：
4.如权利要求1所述的金刚石压敏膜制备方法，其特征在于，所述提供金刚石基底，包括：
5.如权利要求1所述的金刚石压敏膜制备方法，其特征在于，所述根据目标加工参数控制飞秒激光加工系统对所述金刚石基底的第一表面进行图形化处理，包括：
6.如权利...
【技术特征摘要】
1.一种金刚石压敏膜制备方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的金刚石压敏膜制备方法，其特征在于，所述根据目标加工参数控制飞秒激光加工系统对所述金刚石基底进行图形化处理之前，所述方法还包括：
3.如权利要求2所述的金刚石压敏膜制备方法，其特征在于，所述方法还包括：
4.如权利要求1所述的金刚石压敏膜制备方法，其特征在于，所述提供金刚石基底，包括：
5.如权利要求1所述的金刚石压敏膜制备方法，其特征在于，所述根据目标加工参数控制飞秒激光加工系统对所述金刚石基底的第一表面进行图形化处理，包括：
6.如权利要求5所述的金刚石压敏膜制备方法，其特征在于，所述根据所述刻蚀...
【专利技术属性】
技术研发人员：东芳，蒋顺勇，侯冬杨，汪启军，吕婷，王诗兆，刘胜，
申请(专利权)人：武汉大学，
类型：发明
国别省市：
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