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本发明公开了一种批量生产小尺寸晶圆的晶圆载台结构，涉及晶圆载台结构技术领域，本发明包括圆板，所述圆板顶面两边分别固定有L形板，所述圆板顶面开设有两个方槽，所述圆板顶面中间固定安装有散热壳，所述散热壳内部顶端固定安装有伺服电机，所述圆板顶面中...
该专利属于上海智睿未来电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海智睿未来电子科技有限公司授权不得商用。

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