一种光刻胶中水溶性阴离子的检测方法技术

本发明专利技术提供一种光刻胶中水溶性阴离子的检测方法，将光刻胶样品和水混合，经分离处理获得水相提取液，测定所述提取液中水溶性阴离子的含量，然后计算获得所述光刻胶样品中水溶性阴离子的含量。该方法中，光刻胶样品的前处理工序简单，对前处理后获得的提取液直接进行离子含量测试即可，不需要用到昂贵的燃烧炉‑离子色谱仪，成本低；且可以准确测定光刻胶中各水溶性阴离子含量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光刻胶检测的，特别是涉及一种光刻胶中水溶性阴离子的检测方法。

技术介绍

1、对于光刻胶痕量阴离子检测，目前常用的检测方法是赛默飞推出的cic在线燃烧离子色谱法测定光刻胶及树脂中的卤素。通过燃烧，光刻胶及树脂样品基质被完全消除，实现一次进样同时分析样品中的所有卤素含量。然而这种方法需要针对光刻胶及树脂类样品配置专用的燃烧炉-离子色谱仪(专机专用)，设备成本高；另外，燃烧后测试的结果为光刻胶中卤素总含量，并不包含硫酸根、磷酸根、硝酸根等阴离子，测试结果不完整，并不能准确测定光刻胶及树脂样品中阴离子含量。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种光刻胶中水溶性阴离子的检测方法，用于解决现有技术检测成本高、且不能准确测定光刻胶中阴离子含量的问题。

2、为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术是通过以下技术方案获得的。

3、本专利技术提供一种光刻胶中水溶性阴离子的检测方法，将光刻胶样品和水混合，经分离处理获得水相提取液，测定所述提取液中水溶性阴离子本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光刻胶中水溶性阴离子的检测方法，其特征在于，将光刻胶样品和水混合，经分离处理获得水相提取液，测定所述提取液中水溶性阴离子的含量，然后计算获得所述光刻胶样品中水溶性阴离子的含量。

2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，混合时，采用超声和/或涡旋震荡；和/或，所述水溶性阴离子选自氟离子、氯离子、溴离子、硝酸根离子、亚硝酸根离子、硫酸根离子和磷酸根离子中的一种或多种。

3.根据权利要求2所述的检测方法，其特征在于，超声时间为15～45min。

4.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述水为超纯水。

5.根据权利要求1所述的...

【技术特征摘要】

1.一种光刻胶中水溶性阴离子的检测方法，其特征在于，将光刻胶样品和水混合，经分离处理获得水相提取液，测定所述提取液中水溶性阴离子的含量，然后计算获得所述光刻胶样品中水溶性阴离子的含量。

2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，混合时，采用超声和/或涡旋震荡；和/或，所述水溶性阴离子选自氟离子、氯离子、溴离子、硝酸根离子、亚硝酸根离子、硫酸根离子和磷酸根离子中的一种或多种。

3.根据权利要求2所述的检测方法，其特征在于，超声时间为15～45min。

4.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述水为超纯水。

5.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述分离采用离心分相和/或微滤。

6.根据权利要求4所述的检测方法，其特征在于，所述离心时间为30～45min；和/或，所述离心转速为3000～5000rpm；和/或，所述微滤的滤膜孔径为0.22～0.5μm；和/或，所述微滤采用聚四氟乙烯滤膜。

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【专利技术属性】
技术研发人员：邹阅超，蔡慧妍，王轶滢，
申请(专利权)人：上海集成电路材料研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：