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本发明提供一种光刻胶中水溶性阴离子的检测方法，将光刻胶样品和水混合，经分离处理获得水相提取液，测定所述提取液中水溶性阴离子的含量，然后计算获得所述光刻胶样品中水溶性阴离子的含量。该方法中，光刻胶样品的前处理工序简单，对前处理后获得的提取液直...
该专利属于上海集成电路材料研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路材料研究院有限公司授权不得商用。

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