一种基于微纳阵列结构GaN基光电子芯片的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种基于微纳阵列结构GaN基光电子芯片的制备方法，包括支撑板，所述支撑板顶部开设有第一凹槽，所述第一凹槽内表面转动安装有传送带，所述支撑板顶部活动安装有顶板，所述顶板顶部开设有第四凹槽，所述第四凹槽内表面活动安装有第五电动伸缩杆，所述第五电动伸缩杆输出端转动连接有四个夹爪，所述支撑板顶部固定安装有两个侧板，两个所述侧板相对面共同固定连接有超声波清洗器；三个连接杆转动使三个夹爪相互靠近进而将衬底夹紧，接着再将衬底移动至清洗槽内腔，对衬底进行清洗，最终在干燥箱内腔对衬底进行干燥，接着再使衬底落到传送带顶部，通过检测器对衬底进行检测，配合挡板根据检测结果的不同对衬底进行分类收集。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微纳阵列结构gan基光电子芯片制备，具体是一种基于微纳阵列结构gan基光电子芯片的制备方法。

技术介绍

1、智能交通信号系统的技术演进与高功率氮化镓基led芯片的发展紧密关联，这类芯片凭借其大功率输出、优异光电转换效率及定向发光特性，在交通信号领域展现出显著应用潜力。

2、在半导体制造领域，基于自上而下微加工技术的干法刻蚀工艺虽是制备微纳阵列结构的传统方法，但其在加工过程中易引发两个关键问题：首先，结构侧壁的晶格损伤会形成非辐射复合中心，直接导致器件光电转换效率显著下降；其次，加工产生的界面缺陷可能形成漏电流通道，为消除这类缺陷需采用原子层沉积等高精度介质填充工艺，还有衬底的洁净程度也会影响生产出产品的品质。

3、这种后处理不仅大幅提高了制造成本与工艺复杂度，还存在对器件结构造成二次损伤的风险。

4、因此，针对上述问题提出一种基于微纳阵列结构gan基光电子芯片的制备方法。

技术实现思路

1、为了弥补现有技术的不足，解决自上而下微加工技术的干法刻蚀工艺容易对器件本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于微纳阵列结构GaN基光电子芯片的制备方法的制备装置，包括支撑板（1），其特征在于：所述支撑板（1）顶部开设有第一凹槽（11），所述第一凹槽（11）内表面转动安装有传送带（21），所述支撑板（1）顶部活动安装有顶板（3），所述顶板（3）顶部开设有第四凹槽（301），所述第四凹槽（301）内表面活动安装有第五电动伸缩杆（65），所述第五电动伸缩杆（65）输出端转动连接有四个夹爪（665），所述支撑板（1）顶部固定安装有两个侧板（4），两个所述侧板（4）相对面共同固定连接有超声波清洗器（41），所述超声波清洗器（41）顶部开设有三个清洗槽（411），所述顶板（3）底部固定安装有干燥...

【技术特征摘要】

1.一种基于微纳阵列结构gan基光电子芯片的制备方法的制备装置，包括支撑板（1），其特征在于：所述支撑板（1）顶部开设有第一凹槽（11），所述第一凹槽（11）内表面转动安装有传送带（21），所述支撑板（1）顶部活动安装有顶板（3），所述顶板（3）顶部开设有第四凹槽（301），所述第四凹槽（301）内表面活动安装有第五电动伸缩杆（65），所述第五电动伸缩杆（65）输出端转动连接有四个夹爪（665），所述支撑板（1）顶部固定安装有两个侧板（4），两个所述侧板（4）相对面共同固定连接有超声波清洗器（41），所述超声波清洗器（41）顶部开设有三个清洗槽（411），所述顶板（3）底部固定安装有干燥箱（43），所述干燥箱（43）外表面固定连接有热风管（44）和连接板（42），所述连接板（42）固定连接在超声波清洗器（41）一侧。

2.根据权利要求1所述的一种基于微纳阵列结构gan基光电子芯片的制备方法的制备装置，其特征在于：所述第一凹槽（11）内表面转动安装有两个传送辊（2），所述传送带（21）缠绕安装在两个传送辊（2）外表面，其中一个所述传送辊（2）一侧固定连接有第一电机（22），所述第一电机（22）固定安装在支撑板（1）一侧。

3.根据权利要求2所述的一种基于微纳阵列结构gan基光电子芯片的制备方法的制备装置，其特征在于：所述第一电机（22）输出轴固定连接有不完全齿轮（23），所述支撑板（1）一侧固定安装有限位管（25），所述支撑板（1）一侧转动安装有齿轮（26），所述限位管（25）内表面滑动安装有齿条（24），所述不完全齿轮（23）和齿轮（26）均与齿条（24）啮合，所述齿条（24）一侧固定连接有第一弹簧（27），所述第一弹簧（27）固定安装在支撑板（1）一侧。

4.根据权利要求3所述的一种基于微纳阵列结构gan基光电子芯片的制备方法的制备装置，其特征在于：所述支撑板（1）顶部开设有两个第二凹槽（12），所述第二凹槽（12）内表面转动安装有双向螺纹杆（261），所述第二凹槽（12）内表面滑动安装有l形滑块（262），所述l形滑块（262）一侧固定连接有夹块（263），所述双向螺纹杆（261）固定连接在齿轮（26）一侧。

5.根据权利要求4所述的一种基于微纳阵列结构gan基光电子芯片的制备方法的制备装置，其特征在于：所述顶板（3）顶部固定安装有第一电动伸缩杆（31），所述第一电动伸缩杆（31）输出端固定连接有生产箱（32），所述顶板（3）底部固定安装有第一密封板（322），所述生产箱（32）顶部开设有第三凹槽（321），所述第一密封板（322）滑动安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：张华，林涛，谭耀华，赵昆，毕恒昌，
申请(专利权)人：江苏乔科科技有限公司，
类型：发明
国别省市：