下载一种基于微纳阵列结构GaN基光电子芯片的制备方法的技术资料

文档序号:46061343

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本发明公开了一种基于微纳阵列结构GaN基光电子芯片的制备方法,包括支撑板,所述支撑板顶部开设有第一凹槽,所述第一凹槽内表面转动安装有传送带,所述支撑板顶部活动安装有顶板,所述顶板顶部开设有第四凹槽,所述第四凹槽内表面活动安装有第五电动伸缩杆...
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