一种单晶炉热场加热器组件制造技术

一种单晶炉热场加热器组件，包括加热器端头，所述加热器端头属于单晶炉加热器的局部结构：其特征是：加热器通过托架水平架装在环架内侧，所述环架外圈固定连接有立柱；每两组环架之间固定安装有托架；每两组环架内圈均匀分布有若干组紧固关节，所述紧固关节通过紧固线组与加热器端头限位连接。本申请提供了一种单晶炉热场加热器组件。本申请利用了环架以及立柱作为安装加热器的支撑构架，同时利用紧固线组针对加热器端头进行紧固处理，配合托架的分层托举工序，可有效固定加热器。对比普通的加热器固定结构，本申请未采用栓头以及板件直接破坏加热器本身的结构，其固定形式灵活多变，可更具加热器的结构尺寸调节线组的间距以及轴套的间距。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于，具体涉及一种单晶炉热场加热器组件。

技术介绍

1、单晶炉加热组件是单晶炉中的关键组成部分，其性能和效率直接影响到单晶材料的质量和产量。通过不断优化加热组件的材料、结构、控制系统和能源利用方式，可以进一步提高单晶炉的生产效率和产品质量。

2、单晶炉是用于生产半导体材料的重要设备之一，其核心功能是通过加热过程实现多晶材料的熔化、结晶和拉伸，从而制备出高质量的单晶材料。单晶炉加热器作为单晶炉的核心组件，其质量和性能对单晶炉的整体运行效果具有决定性影响。

3、因此，本申请提供了一种单晶炉热场加热器组件。本申请利用了环架以及立柱作为安装加热器的支撑构架，同时利用紧固线组针对加热器端头进行紧固处理，配合托架的分层托举工序，可有效固定加热器。对比普通的加热器固定结构，本申请未采用栓头以及板件直接破坏加热器本身的结构，其固定形式灵活多变，可更具加热器的结构尺寸调节线组的间距以及轴套的间距。

技术实现思路

1、为达到上述目的，本技术的技术方案如下：

2、一种单晶炉热场加热器组件，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶炉热场加热器组件，包括加热器端头，所述加热器端头属于单晶炉加热器的局部结构：其特征是：加热器通过托架（4）水平架装在环架（5）内侧，所述环架（5）外圈固定连接有立柱（2）；

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场加热器组件，其特征是：所述紧固关节（1）包括轴套（8）和安装轴（7）；

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉热场加热器组件，其特征是：所述轴套（8）自身开设有凹槽（6），所述凹槽（6）内卷绕有紧固线组（3）。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场加热器组件，其特征是：所述加热器端头（9）两侧开设有加固槽（10），所述加固槽（10）内...

【技术特征摘要】

1.一种单晶炉热场加热器组件，包括加热器端头，所述加热器端头属于单晶炉加热器的局部结构：其特征是：加热器通过托架（4）水平架装在环架（5）内侧，所述环架（5）外圈固定连接有立柱（2）；

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场加热器组件，其特征是：所述紧固关节（1）包括轴套（8）和安装轴（7）；

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉热场加热器组件，其特征是：所述轴套（8）自身开设有凹槽（6），所述凹槽（6）内卷绕有紧固线组（...

【专利技术属性】
技术研发人员：华焱，刘杰，李东，
申请(专利权)人：常州四杰机械科技有限公司，
类型：新型
国别省市：