表面粗糙度测量传感装置及测量方法与系统制造方法及图纸

本发明专利技术公开的一种表面粗糙度测量传感装置及测量方法与系统，其中表面粗糙度测量传感装置包括：预设光源，偏振光栅，反射镜，偏振相机和数据处理模块，其中，所述预设光源用于发出入射光束；所述偏振光栅用于将入射光束分裂为两个正交的圆偏振光束；所述反射镜用于对两个圆偏振光束进行横向剪切干涉；偏振相机用于对四个不同方向的偏振片阵列进行同时捕获得到四幅相位偏移的干涉图；数据处理模块，用于从干涉图中计算表面粗糙度参数。本发明专利技术通过单次拍摄的干涉图直接计算，速度快，实现了非接触、高精度的表面粗糙度测量，抗环境干扰能力强，适用于工业场景中的快速质量检测。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学测量，更具体的，涉及一种表面粗糙度测量传感装置及测量方法与系统。

技术介绍

1、表面粗糙度是衡量产品表面质量的重要参数，广泛应用于制造业、材料科学和光学工程等领域。传统的接触式测量方法（如触针式轮廓仪）虽然精度高，但存在测量速度慢、易损伤表面的缺点。光学测量技术（如相移干涉仪、共焦显微镜等）虽然能够实现非接触测量，但通常需要轴向扫描，导致系统复杂且对环境振动敏感。

2、横向剪切干涉技术（lateral shearing interferometry, lsi）通过将波前横向分裂为两部分并使其相互干涉，能够在不使用参考波的情况下测量波前的横向梯度，然而，传统的lsi技术只能获得波前的梯度图，无法直接重建原始表面轮廓，且测量精度受限于环境噪声和系统复杂性。

技术实现思路

1、本专利技术的目的是提供一种表面粗糙度测量传感装置及测量方法与系统，所说明的传感装置通过结合统计机器学习技术和部分积分方法，能够快速、精确地测量表面粗糙度参数，适用于工业环境中的实时表面质量检测。

2、本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种表面粗糙度测量传感装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种表面粗糙度测量传感装置，其特征在于，所述预设光源包括LED灯，所述偏振相机中的成像光学元件为10倍近红外物镜。

3.根据权利要求1所述的一种表面粗糙度测量传感装置，其特征在于，所述数据处理模块采用统计机器学习方法或者部分积分方法从横向梯度图中计算所述表面粗糙度参数。

4.一种表面粗糙度测量方法，其特征在于，应用于上述权利要求1至3中任一项所述的一种表面粗糙度测量传感装置，其中，所述方法包括如下步骤：

5.根据权利要求4所述的一种表面粗糙度测量方法，其特征在于，偏...

【技术特征摘要】

1.一种表面粗糙度测量传感装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种表面粗糙度测量传感装置，其特征在于，所述预设光源包括led灯，所述偏振相机中的成像光学元件为10倍近红外物镜。

3.根据权利要求1所述的一种表面粗糙度测量传感装置，其特征在于，所述数据处理模块采用统计机器学习方法或者部分积分方法从横向梯度图中计算所述表面粗糙度参数。

4.一种表面粗糙度测量方法，其特征在于，应用于上述权利要求1至3中任一项所述的一种表面粗糙度测量传感装置，其中，所述方法包括如下步骤：

5.根据权利要求4所述的一种表面粗糙度测量方法，其特征在于，偏振光栅分裂得到两个正交的圆偏振光束包括右旋圆偏振光和左旋圆偏振光，其中，

6.根据权利要求5所述的一种表面粗糙度测量方法，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾东圣，周柔刚，周才健，赵书雯，陈恩赞，王班，
申请(专利权)人：杭州汇萃智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：