一种硅片送料装置制造方法及图纸

本技术提供一种硅片送料装置，包括机台，机台上侧连接有上料传送模组、移栽工作台、出料传输模组，上料传送模组和出料传输模组分别设于移栽工作台两端。移栽工作台包括第一移动平台、第二移动平台。第一移动平台、第二移动平台和机台之间通过驱动模组驱动连接。上述驱动模组包括左右驱动模组和竖直驱动模组，左右驱动模组和竖直驱动模组驱动连接，竖直驱动模组和移栽工作台驱动连接。本技术实现自动将硅片送入滚涂装置进行滚涂，滚涂完毕自动将硅片送出，避免人员接触，送料全程自动化，避免硅片被污染，并且两个移动平台交替送料滚涂，提高了送料平台的工作效率，提高了设备利用率。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于硅片加工，具体涉及一种硅片送料装置。

技术介绍

1、在硅片加工过程中，避免硅片损伤至关重要，硅片表面受到的任何损伤都会直接影响到最终产品的性能。同时硅片在加工过程中受到的机械力会降低硅片的机械强度，使硅片在后续处理中破裂或断裂，降低成品率，硅片上料过程中避免硅片损伤，减小硅片受到的机械力是硅片加工的重要因素。

2、因此，上述问题亟待解决。

技术实现思路

1、技术目的：为了克服以上不足，本技术提供一种硅片送料装置，实现硅片自动上料，避免硅片受到损伤，提高最终产品性能。送料平稳，减小硅片受到的机械力，保证硅片的机械强度，避免硅片在后续处理中出现破裂或断裂，提高硅片的产品质量。

2、技术方案：为了实现上述目的，本技术提供一种硅片送料装置，包括机台，机台上侧连接有上料传送模组、移栽工作台、出料传输模组，上料传送模组和出料传输模组分别设于移栽工作台两端。上料传送模组将硅片传输至移栽工作台顶面，移栽工作台将硅片移栽至出料传输模组出料。移栽工作台包括第一移动平台、第二移动平台。第一移动平台本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种硅片送料装置，其特征在于：包括机台（1），所述机台（1）上侧连接有上料传送模组（2）、移栽工作台（3）、出料传输模组（4），所述上料传送模组（2）和出料传输模组（4）分别设于移栽工作台（3）两端；所述上料传送模组（2）将硅片传输至移栽工作台（3）顶面，所述移栽工作台（3）将硅片移栽至出料传输模组（4）出料；所述移栽工作台（3）包括第一移动平台（31）、第二移动平台（32）；所述第一移动平台（31）、第二移动平台（32）和机台（1）之间通过驱动模组驱动连接；上述驱动模组包括左右驱动模组（33）和竖直驱动模组（34），所述左右驱动模组（33）和竖直驱动模组（34）驱动连接，所述竖直驱...

【技术特征摘要】

1.一种硅片送料装置，其特征在于：包括机台（1），所述机台（1）上侧连接有上料传送模组（2）、移栽工作台（3）、出料传输模组（4），所述上料传送模组（2）和出料传输模组（4）分别设于移栽工作台（3）两端；所述上料传送模组（2）将硅片传输至移栽工作台（3）顶面，所述移栽工作台（3）将硅片移栽至出料传输模组（4）出料；所述移栽工作台（3）包括第一移动平台（31）、第二移动平台（32）；所述第一移动平台（31）、第二移动平台（32）和机台（1）之间通过驱动模组驱动连接；上述驱动模组包括左右驱动模组（33）和竖直驱动模组（34），所述左右驱动模组（33）和竖直驱动模组（34）驱动连接，所述竖直驱动模组（34）和移栽工作台（3）驱动连接；所述左右驱动模组（33）分别驱动第一移动平台（31）和第二移动平台（32）左右移动；所述竖直驱动模组（34）分别驱动第一移动平台（31）和第二移动平台（32）上下移动；所述第一移动平台（31）顶面设有多个第一避让槽（311）；所述第二移动平台（32）顶面设有多个第二避让槽（321）。

2.根据权利要求1所述的硅片送料装置，其特征在于：所述左右驱动模组（33）设有两个，所述左右驱动模组（33）分别设于机台（1）两侧，所述左右驱动模组（33）包括水平导轨（331），和水平导轨（331）滑动连接的水平移动架（332），水平驱动电机，水平驱动丝杆；所述水平导轨（331）设有多根，所述水平导轨（331）水平固定连接于机台（1）侧壁；所述水平驱动电机和机台（1）侧壁连接，所述水平驱动电机和水平驱动丝杆驱动连接；所述水平驱动丝杆和水平移动架（332）驱动连接，所述水平驱动电机驱动水平驱动丝杆转动，所述水平驱动丝杆驱动水平移动架（332）沿水平导轨（331）左右滑动；所述水平移动架（332）和竖直驱动模组（34）连接。

3.根据权利要求2所述的硅片送料装置，其特征在于：所述竖直驱动模组（34）包括竖直固定于水平移动架（332）的竖直导轨（341），所述竖直导轨（341）滑动连接有竖直移动架（342），所述水平移动架（332）连接有竖直驱动电机（343）和竖直驱动丝杆（344）；所述竖直驱动电机（343）和竖直驱动丝杆（344）驱动连接，所述竖直驱动丝杆（344）和竖直移动架（342）驱动连接，所述竖直驱动电机（343）驱动竖直驱动丝杆（344）转动，所述竖直驱动丝杆（344）驱动竖直移动架（342）沿竖直导轨（341）滑动；所述竖直移动架（342）和移栽工作台（3）连接。

4.根据权利要求1所述的硅片送料装置，其特征在于：所述上料传送模组（2）包括传送机构（21）和上料机构（22）；所述传送机构（21）和上料机构（22）呈直线临近设置；所述传送机构（21）将硅片传输至上料机构（22），所述上料机构（22）将硅片向移栽工作台（3）上料。

5.根据权利要求4所述的硅片送料装置，其特征在于：所述传送机构（21）包括传送机架（211），所述传送机架（211）两侧分别连接有v型传送辊组（21...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏康家，顾嘉诚，邹锋，秦岭，
申请(专利权)人：中畅光达智能装备苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：