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本技术提供一种硅片送料装置，包括机台，机台上侧连接有上料传送模组、移栽工作台、出料传输模组，上料传送模组和出料传输模组分别设于移栽工作台两端。移栽工作台包括第一移动平台、第二移动平台。第一移动平台、第二移动平台和机台之间通过驱动模组驱动连接...
该专利属于中畅光达智能装备（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中畅光达智能装备（苏州）有限公司授权不得商用。

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