【技术实现步骤摘要】
本公开属于半导体设备，具体涉及一种用于气体消减设备的搬运工具及气体消减设备。
技术介绍
1、气体消减设备主要用于对流入真空泵的气体进行消减处理，去除其中一种或者几种气体，由于真空泵抽真空的过程中，会压缩空气做功，真空泵里温度上升，流经真空泵的气体，在高温下会发生化学反应，生成有害的气体、液体或固体，而气体消减设备就是在气体流入真空泵前，将其中一种或者多种气体处理掉。
2、在客户端现场，安装空间都较为有限，气体消减设备中包括的钣金柜体等尺寸较大，在设备安装以后直到报废不会移动，设备会使用固定螺栓固定到合适的地面上，所有设备的底部是平的，不能设计可拆卸或升高的轮子。然而，在设备未进入工作车间之前，在库房中时，一般是将其放置在木托架上，通过将其由库房移动至工作车间，这中间有一段需要移动设备的路程，并且，在这段移动的路程中，由于fab工厂内部空间较小，无法使用叉车等工具，同时，还由于fab车间的上部都是管道，也无法安装起重设备。
3、因此，目前尚未有用于移动气体消减设备的辅助工具，为了避免设备和地面之间的摩擦，一般需要人...
【技术保护点】
1.一种用于气体消减设备的搬运工具，其特征在于，所述搬运工具包括：多个搬运组件，每个所述搬运组件包括固定支架与移动件；其中，
2.根据权利要求1所述的用于气体消减设备的搬运工具，其特征在于，所述多个搬运组件分布于所述钣金柜体底板的至少相对两侧。
3.根据权利要求2所述的用于气体消减设备的搬运工具，其特征在于，所述固定支架包括第一固定部与第二固定部；其中，
4.根据权利要求3所述的用于气体消减设备的搬运工具，其特征在于，所述搬运组件还包括有第一固定件和第二固定件，所述第一固定部开设有第一固定通孔，所述移动件与所述第二固定部均开设有第二
【技术特征摘要】
1.一种用于气体消减设备的搬运工具，其特征在于，所述搬运工具包括：多个搬运组件，每个所述搬运组件包括固定支架与移动件；其中，
2.根据权利要求1所述的用于气体消减设备的搬运工具，其特征在于，所述多个搬运组件分布于所述钣金柜体底板的至少相对两侧。
3.根据权利要求2所述的用于气体消减设备的搬运工具，其特征在于，所述固定支架包括第一固定部与第二固定部；其中，
4.根据权利要求3所述的用于气体消减设备的搬运工具，其特征在于，所述搬运组件还包括有第一固定件和第二固定件，所述第一固定部开设有第一固定通孔，所述移动件与所述第二固定部均开设有第二固定通孔；其中，
5.根据权利要求4所述的用于气体消减设备的搬运工具，其特征在于，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘国莉，汪鹏，季慧，费纲刚，
申请(专利权)人：上海通嘉宏盛半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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