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本公开提供一种用于气体消减设备的搬运工具与气体消减设备，属于半导体设备技术领域。搬运工具包括：多个搬运组件，每个所述搬运组件包括固定支架与移动件；其中，在需要搬运气体消减设备时，所述固定支架固定于所述气体消减设备的钣金柜体底板，所述移动件固...
该专利属于上海通嘉宏盛半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海通嘉宏盛半导体设备有限公司授权不得商用。

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