【技术实现步骤摘要】
技术介绍
1、当利用带电粒子束(诸如电子束)辐射样品时，由于带电粒子束与样品之间的相互作用，各种带电粒子和/或电磁辐射被发射、散射或透射。所发射、散射或透射的粒子和/或辐射可由检测器检测以提供关于样品的信息。例如，反向散射电子是低能量损耗电子，这些低能量损耗电子通过带电粒子束与样品的原子之间的弹性散射相互作用而被反射或反向散射出样品的相互作用体积。通过使用二维检测器收集来这些带电粒子和/或辐射，可确定粒子或辐射的空间或角度发射/反射/透射图案。然后，相互作用体积中的结构信息(诸如局部晶体取向)可通过对二维图案的分析和解释来确定。
技术实现思路
1、本文提供了一种带电粒子检测器系统。该带电粒子检测器系统包括有源像素控制传感器，该有源像素控制传感器具有传感器层和读出芯片并且包括多个像素。该多个像素中的每个像素在被带电粒子撞击时至少产生电子和空穴。该带电粒子检测器系统包括第一读出电路，该第一读出电路与该传感器层通信并且被配置为接收与由带电粒子撞击产生的该电子或该空穴中的一者对应的一维数据信号。...
【技术保护点】
1.一种带电粒子检测器系统，所述带电粒子检测器系统包括：
2.根据权利要求1所述的带电粒子检测器系统，其中所述第一读出电路包括电流镜，以接收所述一维数据信号作为输入信号并且输出与所述输入信号对应的至少两个镜像信号。
3.根据权利要求2所述的带电粒子检测器系统，其中所述第一读出电路包括放大器和外围接口适配器，所述放大器从所述电流镜接收所述镜像信号中的一者。
4.根据权利要求2所述的带电粒子检测器系统，其中所述第一读出电路包括从所述电流镜接收所述镜像信号中的一者的偏置电压源。
5.根据权利要求1所述的带电粒子检测器系统，其中...
【技术特征摘要】
1.一种带电粒子检测器系统，所述带电粒子检测器系统包括：
2.根据权利要求1所述的带电粒子检测器系统，其中所述第一读出电路包括电流镜，以接收所述一维数据信号作为输入信号并且输出与所述输入信号对应的至少两个镜像信号。
3.根据权利要求2所述的带电粒子检测器系统，其中所述第一读出电路包括放大器和外围接口适配器，所述放大器从所述电流镜接收所述镜像信号中的一者。
4.根据权利要求2所述的带电粒子检测器系统，其中所述第一读出电路包括从所述电流镜接收所述镜像信号中的一者的偏置电压源。
5.根据权利要求1所述的带电粒子检测器系统，其中所述第二读出电路包括从所述读出芯片接收所述多维数据信号并且对所述多维数据信号进行解码的现场可编程门阵列。
6.根据权利要求1所述的带电粒子检测器系统，其中所述一维数据信号和所述多维数据信号是由所述有源像素控制传感器同时地生成的。
7.根据权利要求1所述的带电粒子检测器系统，所述带电粒子检测器系统还包括：
8.根据权利要求7所述的带电粒子检测器系统，其中所述强度图像和所述结构图像被自动地共同配准。
9.根据权利要求7所述的带电粒子检测器系统，其中所述第一计算装置和所述第二计算装置是相同的计算装置。
10.根据权利要求1所述的带电粒子检测器系统，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：B·斯特拉卡，P·斯泰斯卡尔，T·维斯塔维尔，J·霍尔泽，
申请(专利权)人：FEI公司，
类型：发明
国别省市：
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