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使用带电粒子束和有源像素控制传感器来分析样品的系统和方法。本文教导的系统和方法利用单个检测器来为利用带电粒子束询问的样品提供一维数据(例如，用于直接形貌成像)和多维数据(例如，用于晶体学数据)两者。在一些示例中，一维数据可包括由于跨整个检测...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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