一种镀膜材料蒸发装置制造方法及图纸

本技术属于真空镀膜技术领域，涉及一种镀膜材料蒸发装置，包括两端开口的蒸发管、通过合页设于所述蒸发管一端的密封盖和内置于所述密封盖内的加热片，所述蒸发管的另一端连通有镀膜腔，所述密封盖和所述蒸发管之间连接有紧固机构，所述紧固机构包括通过滑轨可滑动连接在所述密封盖端面上的两个活动块，所述活动块连接有用于驱动其沿所述滑轨滑动的驱动机构，所述蒸发管的周面上通过两个L形连接杆连接有托辊，所述活动块的一端由两个所述连接杆和所述托辊之间穿过，并抵在所述托辊的周面上，所述活动块与所述托辊相抵的一面设为斜面，所述活动块推进时，所述托辊反作用于所述活动块上，从而将所述密封盖压紧在所述蒸发管上，确保紧固效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空镀膜设备，特别涉及一种镀膜材料蒸发装置。

技术介绍

1、parylenec或parylenen为聚对二甲苯，聚对二甲苯为一种新型热塑性塑料，用于制作极薄薄膜或沉积涂层，聚对二甲苯具有良好的气体、水汽阻隔性能、物理机械性能、电绝缘性以及防腐蚀性，在硅橡胶、磁性材料、电路板、医疗器件、书籍画卷、历史文物、led灯和传感器等领域有着广泛的应用，传统的一种紧密型真空镀膜用汽化装置存在以下缺点：存在原料泄漏问题，镀膜温度难以控制，受热不均匀，影响原料汽化，基于以上缺陷和不足，有必要对现有的技术予以改进。

2、专利号cn201920481417.2，公开了一种紧密型真空镀膜用汽化装置，该种紧密型真空镀膜用汽化装置包括管炉底盘、蒸发炉箱、蒸发管、加热片、接线盒、密封结构和连接法兰，所述管炉底盘设置于框架中部，管炉底盘上安装有蒸发炉箱，蒸发炉箱里横向插装有蒸发管，蒸发管上间隔设置有加热片，加热片通过导线连接到接线盒，接线盒设置于蒸发炉箱后部，所述蒸发管两侧分别为进料口和出料口，蒸发管的进料口处安装有密封结构，蒸发管出料口安装有连接法兰。通过上述方本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种镀膜材料蒸发装置，包括两端开口的蒸发管、通过合页设于所述蒸发管一端的密封盖和内置于所述密封盖内的加热片，所述蒸发管的另一端连通有镀膜腔，其特征在于：所述密封盖和所述蒸发管之间连接有紧固机构，所述紧固机构包括通过滑轨可滑动连接在所述密封盖端面上的两个活动块，所述活动块连接有用于驱动其沿所述滑轨滑动的驱动机构，所述蒸发管的周面上通过两个L形连接杆连接有托辊，所述活动块的一端由两个所述连接杆和所述托辊之间穿过，并抵在所述托辊的周面上，所述活动块与所述托辊相抵的一面设为斜面。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜材料蒸发装置，其特征在于：所述驱动机构包括伺服气缸，所述密封盖的端面...

【技术特征摘要】

1.一种镀膜材料蒸发装置，包括两端开口的蒸发管、通过合页设于所述蒸发管一端的密封盖和内置于所述密封盖内的加热片，所述蒸发管的另一端连通有镀膜腔，其特征在于：所述密封盖和所述蒸发管之间连接有紧固机构，所述紧固机构包括通过滑轨可滑动连接在所述密封盖端面上的两个活动块，所述活动块连接有用于驱动其沿所述滑轨滑动的驱动机构，所述蒸发管的周面上通过两个l形连接杆连接有托辊，所述活动块的一端由两个所述连接杆和所述托辊之间穿过，并抵在所述托辊的周面上，所述活动块与所述托辊相抵的一面设为斜面。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜材料蒸发装置，其特征在于：所述驱动机构包括伺服气缸，所述密封盖的端...

【专利技术属性】
技术研发人员：李佳伟，郭杰，
申请(专利权)人：苏州锐科纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：