一种改善管式PECVD气体均匀性的装置制造方法及图纸

本技术涉及晶硅太阳能电池生产技术领域，公开了一种改善管式PECVD气体均匀性的装置，其包括：中部进气管道，中部进气管道连接于双舟炉管顶部中心；中部进气管道的两个进气端分别与特气进气管道和氮气进气管道连接，中部进气管道的出气端正对双舟炉管内石墨舟的后舟前部。本技术将特气进气管道和氮气进气管道交汇于一根中部进气管道，中部进气管道设置于双舟炉管顶部中心，对准后舟前部；在炉中增加中部进气管道，使得后舟气体均匀性更佳，优化了后舟膜层均匀性；此装置对管式PECVD设备炉门改造简单可操作，成本低；既不影响生产产能，又能实现显著提升晶硅电池镀膜均匀性，从而为电池进一步提高效率提供了更大的空间。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶硅太阳能电池生产，具体地说，涉及一种改善管式pecvd气体均匀性的装置。

技术介绍

1、工业化生产晶体硅太阳能电池技术日渐成熟，但随着市场竞争日趋激烈，客户对太阳能电池的质量要求标准不断升高。top-con电池作为一种基于选择性载流子原理的隧穿氧化层钝化接触的太阳能电池，隧穿层、poly层的膜厚均匀性显得尤其重要。

2、pecvd技术是在低气压下，利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上(即样品放置的托盘)产生辉光放电，利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在样品表面形成固态薄膜。

3、因此优化pecvd气体均匀性，对膜层均匀性有着重要的意义。而在实际生产中，企业大多选择采用对管式pecvd工艺参数进行一系列优化，但效果甚微。

4、现今pecvd单槽片内，以石墨舟设置为12槽(后舟对应7-12槽)为例，对其均匀性数据进行分析，发现后舟7-12槽均匀性明显差于前舟。气体在炉口底部进气，炉尾后部抽气，气体走向从前舟到后舟，而因石墨舟韧性佳本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种改善管式PECVD气体均匀性的装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种改善管式PECVD气体均匀性的装置，其特征在于，双舟炉管(1)的前后分别设置石墨舟前舟和石墨舟后舟。

3.根据权利要求2所述的一种改善管式PECVD气体均匀性的装置，其特征在于，石墨舟前舟靠近双舟炉管(1)炉口设置，石墨舟后舟靠近双舟炉管(1)炉尾设置，双舟炉管(1)的进气管(5)设置于炉口底部，出气管(6)设置于炉尾。

4.根据权利要求1所述的一种改善管式PECVD气体均匀性的装置，其特征在于，特气进气管道(3)中通入硅烷、磷烷、氢气和笑气中的任意一种或多种组...

【技术特征摘要】

1.一种改善管式pecvd气体均匀性的装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种改善管式pecvd气体均匀性的装置，其特征在于，双舟炉管(1)的前后分别设置石墨舟前舟和石墨舟后舟。

3.根据权利要求2所述的一种改善管式pecvd气体均匀性的装置，其特征在于，石墨舟前舟靠近双舟炉管(1)炉口设置，石墨舟后舟靠近双舟炉管(1)炉尾设置，双舟炉管(1)的进气管(5)设置于炉口底部，出气管(6)设置于炉尾。

4.根据权利要求1所述的一种改善管式pecvd气体均匀性的装置，其特征在于，特气进气管道(3)中通入硅烷、磷烷、氢气和笑气中...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟芷若，
申请(专利权)人：江苏润阳世纪光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：