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本技术涉及晶硅太阳能电池生产技术领域，公开了一种改善管式PECVD气体均匀性的装置，其包括：中部进气管道，中部进气管道连接于双舟炉管顶部中心；中部进气管道的两个进气端分别与特气进气管道和氮气进气管道连接，中部进气管道的出气端正对双舟炉管内石...
该专利属于江苏润阳世纪光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏润阳世纪光伏科技有限公司授权不得商用。

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