一种双通道自适应背景扣除高莱探测器制造技术

本发明专利技术提供了一种双通道自适应背景扣除高莱探测器，属于光学计量测试技术领域，双通道自适应背景扣除高莱探测器包括测量通道、参考通道、气体平衡腔室以及处理电路；测量通道中的第一气体响应腔室中间设有第一吸收膜层，底面设有第一形变膜；参考通道上方设有遮光罩，参考通道中的第二气体响应腔室中间设有第二吸收膜层，底面设有第二形变膜，气体平衡腔室通过第一泄流通道与第一气体响应腔室连通，通过第二泄流通道与第二气体响应腔室连通；处理电路用于测量测量通道和参考通道的电容。本发明专利技术可实现实时环境背景辐射扣除，提高了高莱探测器的性能，可使高莱探测器应用于环境背景辐射变化较快的场合中，拓展了高莱探测器的应用场合。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学计量测试，具体涉及一种双通道自适应背景扣除高莱探测器。

技术介绍

1、高莱探测器是一种经典的非制冷、非选择性的光声红外太赫兹探测器，主要利用气体吸收红外太赫兹辐射后体积增大的特性来反应红外太赫兹辐射的强弱。高莱探测器可以在室温工作，具有调制频率较低、高灵敏度、宽光谱范围等优点，广泛应用于红外太赫兹辐射的探测，也可作为红外太赫兹光谱仪器的核心探测器。

2、高莱探测器一般由探头、信号采集处理模块组成。其中探头包括辐射会聚系统、辐射响应气体室和气室形变测量系统。入射红外太赫兹辐射经过辐射会聚系统入射至辐射响应气体室，辐射响应气体室可将红外太赫兹辐射转换为气体体积变化，其表现形式为辐射响应气体室中形变膜的形变；气室形变测量系统主要用于形变膜形变量的测量，将形变量转换为电信号输出，目前气室形变测量系统主要分为光学纹影法测量、光学干涉法测量、电容测量以及隧道效应测量四种测量方式；信号采集处理模块主要对探头的输出信号进行放大滤波。

3、目前，高莱探测器的主要研究及产品如下：公开号为cn101038213a的中国专利公开了一种双腔本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种双通道自适应背景扣除高莱探测器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种双通道自适应背景扣除高莱探测器，其特征在于，所述第一光锥(610)和所述第二光锥(710)在同一铝板(200)上加工而成，且结构均为向下渐缩的锥形。

3.根据权利要求2所述的一种双通道自适应背景扣除高莱探测器，其特征在于，所述向下渐缩的锥形的侧壁做发黑处理。

4.根据权利要求2所述的一种双通道自适应背景扣除高莱探测器，其特征在于，所述第一上电极和所述第一下电极、所述第二上电极和所述第二下电极之间分别设有支撑环，所述窗口玻璃(100)底面与两个所述支撑环上表面之间分别...

【技术特征摘要】

1.一种双通道自适应背景扣除高莱探测器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种双通道自适应背景扣除高莱探测器，其特征在于，所述第一光锥(610)和所述第二光锥(710)在同一铝板(200)上加工而成，且结构均为向下渐缩的锥形。

3.根据权利要求2所述的一种双通道自适应背景扣除高莱探测器，其特征在于，所述向下渐缩的锥形的侧壁做发黑处理。

4.根据权利要求2所述的一种双通道自适应背景扣除高莱探测器，其特征在于，所述第一上电极和所述第一下电极、所述第二上电极和所述第二下电极之间分别设有支撑环，所述窗口玻璃(100)底面与两个所述支撑环上表面之间分别设有硅基板(300)，所述第一气体响应腔室(650)和所述第二气体响应腔室(750)均是由两个所述硅基板(300)加工成的“凸”形结构；所述“凸”形结构由两个半径不同的空心圆柱构成，位于上方的第一空心圆柱(651)半径大于位于下方的第二空心圆柱(652)半径，且位于上方的所述第一空心圆柱(651)半径与所述向下渐缩的锥形下底面半径一致。

5.根据权利要求4所述的一种双通道自适应背景扣除高莱探测器，其特征在于，两个所述硅基板(300)相互靠近的一侧侧壁上均设有通道，两个所述通道与所述窗口...

【专利技术属性】
技术研发人员：马世帮，俞兵，高峰，王元博，张灯，卢飞，李宏光，娄文宵，李毅，解琪，
申请(专利权)人：西安应用光学研究所，
类型：发明
国别省市：