【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体加工领域,更具体地说,是涉及一种瓷件的高精度摆盘设备,本专利技术还涉及一种半导体生产线。
技术介绍
1、多层陶瓷进行侧面印刷或加工前,需将瓷件待印刷面朝上放入定位工装,然后进行对位印刷或加工。因瓷件尺寸不同、类型各异,需根据瓷件结构制作特定工装,对工装精度要求高,成本较高。人工将瓷件放置在工装时,采取避位和防护措施,防止夹伤和磕伤瓷件,对人员操作经验有一定要求,且操作效率低。此外,人工放置瓷件时,对于结构对称类瓷件,容易放反从而错印刷,造成严重的质量问题。
2、由于上述摆瓷件存在的工装成本高、人工操作复杂、摆盘精度不佳等问题,进行侧面印刷后需逐一逐面检查印刷质量,加工步骤增多容易引入新缺陷,亟需改进。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种瓷件的高精度摆盘设备,以解决现有的瓷件摆盘的加工成本高和加工步骤复杂的技术问题。
2、为实现上述目的,本专利技术采用的技术方案是:提供一种瓷件的高精度摆盘设备,包括:
3、上料机构,所述上料
...【技术保护点】
1.一种瓷件的高精度摆盘设备,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的瓷件的高精度摆盘设备,其特征在于,所述第一搬运组件包括双轴机械臂和用于夹持上料盒的夹持机构,所述双轴机械臂包括第一机械臂、第二机械臂、第一立轴和第二立轴,所述第一机械臂和所述第二机械臂的长度方向均垂直于上下方向,所述第一机械臂一端与所述第一立轴保持同步转动,另一端与所述第二立轴转动适配,所述第一立轴绕自身轴线可转动的设于所述料盒升降组件的一侧,所述第二机械臂一端与所述第二立轴保持同步转动,另一端与所述夹持机构连接,所述夹持机构沿上下方向可移动地设于所述第二机械臂。
3.如权
...【技术特征摘要】
1.一种瓷件的高精度摆盘设备,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的瓷件的高精度摆盘设备,其特征在于,所述第一搬运组件包括双轴机械臂和用于夹持上料盒的夹持机构,所述双轴机械臂包括第一机械臂、第二机械臂、第一立轴和第二立轴,所述第一机械臂和所述第二机械臂的长度方向均垂直于上下方向,所述第一机械臂一端与所述第一立轴保持同步转动,另一端与所述第二立轴转动适配,所述第一立轴绕自身轴线可转动的设于所述料盒升降组件的一侧,所述第二机械臂一端与所述第二立轴保持同步转动,另一端与所述夹持机构连接,所述夹持机构沿上下方向可移动地设于所述第二机械臂。
3.如权利要求1所述的瓷件的高精度摆盘设备,其特征在于,所述第一多头抓取机构还包括第一直线驱动模组、第二直线驱动模组和第三直线驱动模组,所述第一直线驱动模组的动力输出方向平行于第一水平方向,所述第二直线驱动模组设于所述第一直线驱动模组的动力输出端,且所述第二直线驱动模组的动力输出方向沿上下方向延伸,所述第三直线驱动模组设于所述第二直线驱动模组的动力输出端,且所述第三直线驱动模组的动力输出方向沿第二水平方向延伸,所述第一安装部设于所述第三直线驱动模组的动力输出端。
4.如权利要求1所述的瓷件的高精度摆盘设备,其特征在于,所述第二多头抓取机构包括第四直线驱动模组、第五直线驱动模组和第六直线驱动模组,所述第四直线驱动模组的动力输出方向沿第二水平方向延伸,所述第五直线驱动模组设于所述第四直线驱动模组的动力输出端,所述第五直线驱动模组的动力输出方向沿上下方向延伸,所述第六直线驱动模组设于所述第五直线驱动模组的动力输出端,所述第六直线驱动模组的...
【专利技术属性】
技术研发人员:李凡,封双涛,李晶,白建卫,温建阳,闫文霞,赵璇,
申请(专利权)人:河北中瓷电子科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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