下载瓷件的高精度摆盘设备及半导体生产线的技术资料

文档序号:45093809

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本发明提供了一种瓷件的高精度摆盘设备及半导体生产线,属于半导体制造领域,该瓷件的高精度摆盘设备包括上料组件、第一多头抓取机构、第二多头抓取机构和下料机构,上料机构包括料盒升降组件和第一搬运组件,第一搬运组件能移动上料盒;第一多头抓取机构包括...
该专利属于河北中瓷电子科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河北中瓷电子科技股份有限公司授权不得商用。

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