本技术公开了一种用于真空反应腔室压力控制的蝴蝶阀，涉及蝴蝶阀技术领域，包括阀座和固定设于阀座顶部的阀身，阀身的内部上端固定穿设有连接管，连接管的内部转动设有阀板，阀座的内部从上至下依次设有第一轴承座、第二轴承座和第三轴承座，第三轴承座与阀座的内壁固定连接，第三轴承座的内部转动设有输出轴，输出轴穿进阀身并固定设于阀板的内部，阀座的底部固定设有电机，电机的输出端穿进阀座并固定套设有第一同步轮，第一轴承座和第二轴承座的内部共同转动设有传动轴，传动轴的上下两端分别固定套设有第二同步轮和第三同步轮。本技术通过改变同步带的张紧方式，提高系统的传动精度，从而提高蝴蝶阀控压的精度和稳定性。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及蝴蝶阀，具体涉及一种用于真空反应腔室压力控制的蝴蝶阀。
技术介绍
1、蝴蝶阀也被称为蝶阀或蝶形阀，是一种轻质、小型的流体控制阀门，其工作原理是通过旋转阀板来控制流体的通断，蝴蝶阀可以通过调节阀板的开度来控制进入或排出真空反应腔室的气体流量，从而实现对腔室内压力的精确控制。
2、而现有的蝴蝶阀是同步带二级传动系统，同步轮的转动轴依靠铜套支撑和润滑，铜套为偏心结构，通过调节偏心铜套转动而改变两根转动轴的间距，从而调节皮带的松紧，但是在皮带调紧的情况下，转动轴与铜套之间的的接触力会增大，增大了磨损，降低整体寿命，短期内蝴蝶阀就会失去控压的稳定性。
3、因此，我们提出了一种用于真空反应腔室压力控制的蝴蝶阀来解决上述问题。
技术实现思路
1、鉴于上述现有用于真空反应腔室压力控制的蝴蝶阀存在的问题，提出了本技术。
2、因此，本技术目的是提供一种用于真空反应腔室压力控制的蝴蝶阀，解决了现有技术中的蝴蝶阀内部皮带调紧的情况下，转动轴与铜套之间的的接触力会增大，增大了磨损，降低整体寿命，短期内蝴蝶阀就会失去控压的稳定性的问题。
3、为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
4、一种用于真空反应腔室压力控制的蝴蝶阀，包括阀座和固定设于所述阀座顶部的阀身，所述阀身的内部上端固定穿设有连接管，所述连接管的内部转动设有阀板，所述阀座的内部从上至下依次设有第一轴承座、第二轴承座和第三轴承座，所述第三轴承座与阀座的内壁固定连接；
>5、所述第三轴承座的内部转动设有输出轴，所述输出轴穿进阀身并固定设于所述阀板的内部；6、所述阀座的底部固定设有电机，所述电机的输出端穿进阀座并固定套设有第一同步轮，所述第一轴承座和第二轴承座的内部共同转动设有传动轴，所述传动轴的上下两端分别固定套设有第二同步轮和第三同步轮，所述输出轴的外壁下端固定套设有第四同步轮，所述第一同步轮和第二同步轮之间设有第一同步带，所述第三同步轮和第四同步轮之间设有第二同步带。
7、优选的，所述第一轴承座和第二轴承座的内部下端均开设有条形孔，所述阀座的内壁开设有多个定位孔，所述条形孔内滑动穿设有定位螺栓，所述定位螺栓的螺纹端设于所述定位孔内。
8、优选的，所述第三轴承座通过安装螺栓与阀座的内壁螺接固定设置。
9、优选的，所述第三轴承座的外壁接触设有移动架，所述移动架的下端螺纹设有固定螺栓，所述固定螺栓的外壁转动套设有调节轮，所述调节轮与第一同步带接触配合。
10、进一步地，所述移动架的侧部螺纹穿设有调节螺杆，所述调节螺杆的一端与第三轴承座的外壁转动连接，所述调节螺杆的另一端固定套设有转动块。
11、优选的，所述第三轴承座的外壁固定设有导向杆，所述移动架滑动套设于所述导向杆的外侧。
12、优选的，所述固定螺栓的下端螺纹套设有限位螺母。
13、优选的，所述固定螺栓的上端套设有垫片。
14、优选的，所述移动架呈l形设置。
15、在上述技术方案中，本技术提供的技术效果和优点：
16、1、本技术，通过设有的第一轴承座、第二轴承座、第三轴承座、第一同步轮、第二同步轮、第三同步轮、第四同步轮、条形孔、定位孔、定位螺栓、移动架、固定螺栓和调节轮,通过改变同步带的张紧方式，提高系统的传动精度，从而提高蝴蝶阀控压的精度和稳定性。
17、2、本技术，通过设有的第一同步带、移动架、第三轴承座、调节螺杆、转动块和导向杆，能够对调节轮的位置进行精细便捷调节，可在第二同步带张紧后对第一同步带进行快速调节张紧，提高了蝴蝶阀的使用便捷性。
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【技术保护点】
1.一种用于真空反应腔室压力控制的蝴蝶阀，包括阀座(1)和固定设于所述阀座(1)顶部的阀身(2)，其特征在于，所述阀身(2)的内部上端固定穿设有连接管(3)，所述连接管(3)的内部转动设有阀板(4)，所述阀座(1)的内部从上至下依次设有第一轴承座(5)、第二轴承座(6)和第三轴承座(7)，所述第三轴承座(7)与阀座(1)的内壁固定连接；
2.根据权利要求1所述的用于真空反应腔室压力控制的蝴蝶阀，其特征在于，所述第一轴承座(5)和第二轴承座(6)的内部下端均开设有条形孔，所述阀座(1)的内壁开设有多个定位孔(17)，所述条形孔内滑动穿设有定位螺栓(18)，所述定位螺栓(18)的螺纹端设于所述定位孔(17)内。
3.根据权利要求1所述的用于真空反应腔室压力控制的蝴蝶阀，其特征在于，所述第三轴承座(7)通过安装螺栓(19)与阀座(1)的内壁螺接固定设置。
4.根据权利要求1所述的用于真空反应腔室压力控制的蝴蝶阀，其特征在于，所述第三轴承座(7)的外壁接触设有移动架(20)，所述移动架(20)的下端螺纹设有固定螺栓(21)，所述固定螺栓(21)的外壁转动套设有调节轮(22)，所述调节轮(22)与第一同步带(15)接触配合。
5.根据权利要求4所述的用于真空反应腔室压力控制的蝴蝶阀，其特征在于，所述移动架(20)的侧部螺纹穿设有调节螺杆(23)，所述调节螺杆(23)的一端与第三轴承座(7)的外壁转动连接，所述调节螺杆(23)的另一端固定套设有转动块(24)。
6.根据权利要求4所述的用于真空反应腔室压力控制的蝴蝶阀，其特征在于，所述第三轴承座(7)的外壁固定设有导向杆(25)，所述移动架(20)滑动套设于所述导向杆(25)的外侧。
7.根据权利要求4所述的用于真空反应腔室压力控制的蝴蝶阀，其特征在于，所述固定螺栓(21)的下端螺纹套设有限位螺母(26)。
8.根据权利要求4所述的用于真空反应腔室压力控制的蝴蝶阀，其特征在于，所述固定螺栓(21)的上端套设有垫片(27)。
9.根据权利要求4所述的用于真空反应腔室压力控制的蝴蝶阀，其特征在于，所述移动架(20)呈L形设置。
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【技术特征摘要】
1.一种用于真空反应腔室压力控制的蝴蝶阀，包括阀座(1)和固定设于所述阀座(1)顶部的阀身(2)，其特征在于，所述阀身(2)的内部上端固定穿设有连接管(3)，所述连接管(3)的内部转动设有阀板(4)，所述阀座(1)的内部从上至下依次设有第一轴承座(5)、第二轴承座(6)和第三轴承座(7)，所述第三轴承座(7)与阀座(1)的内壁固定连接；
2.根据权利要求1所述的用于真空反应腔室压力控制的蝴蝶阀，其特征在于，所述第一轴承座(5)和第二轴承座(6)的内部下端均开设有条形孔，所述阀座(1)的内壁开设有多个定位孔(17)，所述条形孔内滑动穿设有定位螺栓(18)，所述定位螺栓(18)的螺纹端设于所述定位孔(17)内。
3.根据权利要求1所述的用于真空反应腔室压力控制的蝴蝶阀，其特征在于，所述第三轴承座(7)通过安装螺栓(19)与阀座(1)的内壁螺接固定设置。
4.根据权利要求1所述的用于真空反应腔室压力控制的蝴蝶阀，其特征在于，所述第三轴承座(7)的外壁接触设有移动架(20)，所述移动架(20)的下端螺纹...
【专利技术属性】
技术研发人员：张冲霄，周玉龙，王浩明，
申请(专利权)人：苏州子山半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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