本实用新型专利技术涉及一种等离子体电荷温控盘装置，包含真空箱体、设在真空箱体内底部与大气环境连通的通孔、设在真空箱体内且与通孔密封连接呈圆柱形镂空的底座、设置在底座顶面的电加热丝基座、设在电加热丝基座顶面用于放置电加热丝的电加热丝槽、设在电加热丝基座顶面的中间板、设在中间板顶面的冷却板、设在冷却板与中间板贴合一面上用于放置冷却管的冷却槽；所述冷却管的进出口均贯穿电加热丝基座及中间板至底座镂空处内；所述电加热丝的输入端贯穿电加热丝基座至底座镂空处内；本实用新型专利技术通过电加热系统与冷却系统一体化，可有效精准控温，并且通过镂空底座，使冷却和加热接头不暴露在真空内，降低加工难度，缩减加工成本，同时增加使用寿命。时增加使用寿命。时增加使用寿命。
【技术实现步骤摘要】
一种等离子体电荷温控盘装置
[0001]本技术涉及晶圆加工领域，特指一种等离子体电荷温控盘装置。
技术介绍
[0002]在晶圆加工领域，比如CVD,PVD镀膜或者干法蚀刻工艺，需要先对晶圆加热到一定的温度后才能进行下一步膜的沉积或者材料的刻蚀。
[0003]现有的晶圆加工设备只有加热功能，没有有效的降温功能，导致无法实现精准的温控，并且现有的加热接头处在真空密封中，真空压力极大的影响了接头的使用寿命。
技术实现思路
[0004]本技术目的是为了克服现有技术的不足而提供一种等离子体电荷温控盘装置。
[0005]为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种等离子体电荷温控盘装置，包含真空箱体、设置在真空箱体内底部与大气环境连通的通孔、设置在真空箱体内且与通孔密封连接呈圆柱形镂空的底座、设置在底座顶面的电加热丝基座，设置在电加热丝基座顶面用于放置电加热丝的电加热丝槽、设置在电加热丝基座顶面且将电加热丝槽覆盖的中间板、设置在中间板顶面的冷却板、设置在冷却板与中间板贴合一面上用于放置冷却管的冷却槽；所述冷却管的进出口均贯穿电加热丝基座及中间板至底座镂空处内；所述电加热丝的输入端贯穿电加热丝基座至底座镂空处内。
[0006]优选的，所述底座镂空处一侧设置有电热偶；所述电热偶检测一端贯穿电加热丝基座及中间板插入至冷却板内。
[0007]优选的，所述底座与通孔贴合处设置有密封槽；所述密封槽内设置有密封橡胶圈。
[0008]优选的，所述冷却槽与电加热丝槽均呈螺旋设置。
[0009]优选的，所述中间板、冷却板、电加热丝基座、底座之间的连接均采用真空钎焊的方式焊接成整体。
[0010]由于上述技术方案的运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：
[0011]本技术通过电加热系统与冷却系统一体化，可有效精准控温，并且通过镂空底座，使冷却和加热接头不暴露在真空内，降低加工难度，缩减加工成本，同时增加使用寿命。
附图说明
[0012]下面结合附图对本技术技术方案作进一步说明：
[0013]附图1为本技术所述的一种等离子体电荷温控盘装置的俯视结构示意图；
[0014]附图2为本技术所述的一种等离子体电荷温控盘装置的仰视结构示意图；
[0015]附图3为本技术所述的一种等离子体电荷温控盘装置底座、电加热丝基座及冷却板的整体结构示意图；
[0016]附图4为本技术所述的一种等离子体电荷温控盘装置电加热丝基座的底面结构示意图；
[0017]附图5为本技术所述的一种等离子体电荷温控盘装置冷却板的底面结构示意图；
[0018]附图6为本技术所述的一种等离子体电荷温控盘装置底座的底面结构示意图。
[0019]其中：1、真空箱体；2、通孔；3、底座；4、电加热丝基座；5、电加热丝槽；6、中间板；7、冷却板；8、冷却槽；9、冷却管；10、电加热丝；11、电热偶；12、密封槽；13、橡胶圈。
具体实施方式
[0020]下面结合附图及具体实施例对本技术作进一步的详细说明。
[0021]附图1
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6为本技术所述的一种等离子体电荷温控盘装置，包含真空箱体1、设置在真空箱体1内底部与大气环境连通的通孔2、设置在真空箱体1内且与通孔2密封连接呈圆柱形镂空的底座3、设置在底座3顶面的电加热丝基座4、设置在电加热丝基座4顶面用于放置电加热丝10的电加热丝槽5、设置在电加热丝基座4顶面且将电加热丝槽5覆盖的中间板6、设置在中间板6顶面的冷却板7、设置在冷却板7与中间板6贴合一面上用于放置冷却管9的冷却槽8；所述冷却管9的进出口均贯穿电加热丝基座4及中间板6至底座3镂空处内；所述电加热丝10的输入端贯穿电加热丝基座4至底座3镂空处内。
[0022]进一步，所述底座3镂空处一侧设置有电热偶11；所述电热偶11检测一端贯穿电加热丝基座4及中间板6插入至冷却板7内。
[0023]进一步，所述底座3与通孔2贴合处设置有密封槽12；所述密封槽12内设置有密封橡胶圈13，增加密封性。
[0024]进一步，所述冷却槽8与电加热丝槽5均呈螺旋设置，增加覆盖范围。
[0025]进一步，所述中间板6、冷却板7、电加热丝基座4、底座3之间的连接均采用真空钎焊的方式焊接成整体，增加使用寿命。
[0026]使用时：当需要升温时，通过电加热丝基座4内的电加热丝10对冷却板7上的晶圆进行加热，在温度快速到达设定值附近后，通过冷却板7内的冷却管9进行精确控温；当需要降温时，先停止电加热丝10的加热，再通过冷却板7内的冷却管9实现降温，在底座3的作用下冷却管9及电加热丝10无需暴露在真空箱体1内，避免真空的压力对冷却管9及电加热丝10的损伤。
[0027]以上仅是本技术的具体应用范例，对本技术的保护范围不构成任何限制。凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案，均落在本技术权利保护范围之内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种等离子体电荷温控盘装置，其特征在于：包含真空箱体、设置在真空箱体内底部与大气环境连通的通孔、设置在真空箱体内且与通孔密封连接呈圆柱形镂空的底座、设置在底座顶面的电加热丝基座、设置在电加热丝基座顶面用于放置电加热丝的电加热丝槽、设置在电加热丝基座顶面且将电加热丝槽覆盖的中间板、设置在中间板顶面的冷却板、设置在冷却板与中间板贴合一面上用于放置冷却管的冷却槽；所述冷却管的进出口均贯穿电加热丝基座及中间板至底座镂空处内；所述电加热丝的输入端贯穿电加热丝基座至底座镂空处内。2.根据权利要求1所述的一种等离...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩立民，
申请(专利权)人：苏州子山半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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