【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及抛光设备，具体而言，涉及一种抛光机偏心摆动机构及抛光机。
技术介绍
1、金刚石抛光机行星摆动结构的偏心距需要停机手动调整，在调整时需要手动解除驱动部分与摆动部分的连接，手动地调整摆动部分的位置从而调整偏心距，导致调整过程较为繁琐，且手动调整的精度难以保证。
技术实现思路
1、本专利技术的主要目的在于提供，以解决相关技术中抛光机摆动机构的偏心距调整困难的问题。
2、为了实现上述目的，本专利技术提供了一种抛光机偏心摆动机构，包括：
3、固定平台，所述固定平台上设置有支撑结构；
4、移动平台，所述移动平台设于所述支撑结构上，所述移动平台可通过所述支撑结构相对于所述固定平台偏心摆动和平移；
5、偏心距调整结构，所述偏心距调整结构设置为两组并分别位于所述移动平台的两侧，所述偏心距调整结构包括移动部和驱动部，所述移动部与所述移动平台连接，所述驱动部设置成能够受驱动地带动所述移动部和所述移动平台平移；
6、驱动组件，所述驱动组件设...
【技术保护点】
1.一种抛光机偏心摆动机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的抛光机偏心摆动机构，其特征在于，所述第一驱动构件包括固定腔体；
3.根据权利要求2所述的抛光机偏心摆动机构，其特征在于，所述主驱动构件的旋转轴线与所述移动部的移动方向垂直；
4.根据权利要求3所述的抛光机偏心摆动机构，其特征在于，所述驱动部包括驱动螺杆，所述第一换向结构包括第一锥齿轮，所述驱动螺杆与所述固定腔体可转动地连接，所述第一锥齿轮套接固定在所述驱动螺杆上；
5.根据权利要求4所述的抛光机偏心摆动机构，其特征在于，所述第二换向结构包括第二锥齿轮...
【技术特征摘要】
1.一种抛光机偏心摆动机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的抛光机偏心摆动机构，其特征在于，所述第一驱动构件包括固定腔体；
3.根据权利要求2所述的抛光机偏心摆动机构，其特征在于，所述主驱动构件的旋转轴线与所述移动部的移动方向垂直；
4.根据权利要求3所述的抛光机偏心摆动机构，其特征在于，所述驱动部包括驱动螺杆，所述第一换向结构包括第一锥齿轮，所述驱动螺杆与所述固定腔体可转动地连接，所述第一锥齿轮套接固定在所述驱动螺杆上；
5.根据权利要求4所述的抛光机偏心摆动机构，其特征在于，所述第二换向结构包括第二锥齿轮，所述第二锥齿轮能够与所述第一锥齿轮啮合。
6.根据权利要求1所述的抛光机偏心摆动机构，其特征在于，还包括固定机构，所述固定机构包括固定部和活动部，所述固定部固设于所述固定平台上，所述活动部设置成能够受驱动地与所述第一驱动构件连接和脱离。
7.根据权利要求6所述的抛光机偏心摆动机构，其特征在于，所述活动部包括伸缩杆，所述伸缩杆的上端能够朝向所述第一驱动构件伸出，并与所述第一驱动构件连接，以及能够背离所述第一驱动构件回缩，并与所述第一驱动构件脱离。
8.根据权利要求7所述的抛光机偏心摆动机构，其特征在于，所述伸缩杆的上端设置有柔性的弧形压头，所述弧形压头的上表面设置为弧形面，所述弧形面用于与所述第一驱动构件的下端面相抵。
9.根据权利要求2所述的抛光机偏心摆动机...
【专利技术属性】
技术研发人员：郝元龙，寇明虎，张明慧，
申请(专利权)人：北京特思迪半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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