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本发明公开了一种抛光机偏心摆动机构及抛光机，包括：固定平台，固定平台上设置有支撑结构；移动平台，移动平台设于支撑结构上；偏心距调整结构，偏心距调整结构包括移动部和驱动部，移动部与移动平台连接，驱动部能够带动移动部和移动平台平移；驱动组件，驱...
该专利属于北京特思迪半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京特思迪半导体设备有限公司授权不得商用。

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