【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及精密测量，特别涉及一种基于激光干涉的测量物体表面微形变的方法及装置。
技术介绍
1、激光干涉测量技术作为一种非接触式测量方法，凭借其高精度、高灵敏度等优点，在微形变测量领域展现出广阔的应用前景。现有技术中大多采用复杂的干涉图案分析或相位解调方法来获取形变数据，这些方法往往计算复杂、实时性差，且对环境噪声敏感。传统的测量方法，如接触式测量，虽然操作简单，但存在精度不足、易对样品造成机械损伤等缺点，尤其是在测量柔软或易损材料时，这些缺点更为明显。而光学显微镜不能用来测量物体表面的微形变，仅可对形变进行观察。
2、特别是在液体表面微形变测量方面，现有技术面临更大的挑战。液体表面的动态特性要求测量方法具备极高的灵敏度和实时性，而传统的测量手段难以满足这些要求。干涉环数作为干涉图案中的直观特征，其与形变量之间存在明确的数学关系，但如何有效地利用这一关系进行精确测量，仍是当前技术中亟待解决的问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于克服现有激光干涉测量技术的多项不足，提供...
【技术保护点】
1.一种基于激光干涉的测量物体表面微形变的方法，用于固体表面和液体表面的微形变测量，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种基于激光干涉的测量物体表面微形变的方法，其特征在于，所述图像采集系统为可以实现漫反射的平面，用于捕捉反射形成的干涉图案。
3.一种基于激光干涉的测量物体表面微形变装置，其特征在于，包括：激光光源，用于发出高单色性激光照射待测物体表面；图像采集系统，用于收集反射形成的干涉图案；数据处理单元，用于分析干涉图案、识别干涉环数并计算形变量；显示输出单元，用于展示或输出微形变数据；所述装置适用于固体表面和液体表面的微
<...【技术特征摘要】
1.一种基于激光干涉的测量物体表面微形变的方法，用于固体表面和液体表面的微形变测量，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种基于激光干涉的测量物体表面微形变的方法，其特征在于，所述图像采集系统为可以实现漫反射的平面，用于捕捉反射形成的干涉图案。
3.一种基于激光干涉的测量物体表面微形变装置，其特征在于，包括：激光光源，用于发出高单色性激光照射待测物体表面；图像采集系统，用于收集反射形成的干涉图案；数据处理单元，用于分析干涉图案、识别干涉环数并计算形变量；显示输出单元，用于展示或输出微形变数据；所述装置适用于固体表面和液体表面的微形变测量。
4.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：王茺，张豫鄂，林峰，蒋大新，段卓辰，徐春晖，
申请(专利权)人：云南大学，
类型：发明
国别省市：
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