下载一种基于激光干涉的测量物体表面微形变的方法及装置的技术资料

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本发明公开了一种基于激光干涉的测量物体表面微形变的方法及装置,属于精密测量技术领域。装置能够实时采集、处理和输出微形变数据,实现了对物体表面微形变的实时监测,通过将激光光斑照射在物体表面的微形变区域,激光将在微形变区域完成方向各异的反射,当...
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