【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及材料检测与评价的，具体涉及测量高密度柱形物体平均高度以及均匀性的一种方法。
技术介绍
1、高密度柱形物体，主要是面阵和线列形半导体光电芯片与集成电路互联的常规方式，例如摄像头的制备过程中铟柱倒焊互联，铜铜互联等等，因此柱形物体的生长质量，包括生长高度，均匀性等指标直接影响互联后器件的工作性能。若用于互联的柱形物体，均匀性不佳，则不能保证每个像元的信号都能够正常的输出，将极大地影响器件的良率以及盲元率。
2、目前常规对柱形物体的检测方式，包括显微镜，激光共聚焦显微镜，sem等观察，在观察样品或拍摄成像后，依靠部分显微镜自带的简易测量软件可以对视场范围内周期性高密度柱形物体的高度进行手工测量，测量周期性高密度柱形物体的数量完全依赖于手动操作，一个一个的进行测量，效率很低，无法快速对视场范围内所有周期性高密度柱形物体进行统一的分析，无法进行高密度柱形物体的均匀度与饱满度的分析，因此现有的方法对于高密度柱形物体的评价是定性而非定量的，而且是主观而非可观的，也无法得到整个周期性高密度柱形物体均匀性、饱满度等对于互联至关重
<本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种周期性高密度柱形物体均匀性测量与评价的方法，用于周期性高密度柱形物体的测量及评价，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种周期性高密度柱形物体均匀性测量与评价的方法，其特征在于，所述步骤S2中计算所述周期性高密度柱形物体的所述周期性高密度柱形物体的平均高度，具体步骤包括：
3.根据权利要求1所述的一种周期性高密度柱形物体均匀性测量与评价的方法，其特征在于，所述步骤S3中，确定所述数据矩阵所包含的每个周期性高密度柱形物体中心的坐标，包括利用MATLAB中contour函数，得到二分之一平均高度时的contour函数矩阵，其...
【技术特征摘要】
1.一种周期性高密度柱形物体均匀性测量与评价的方法，用于周期性高密度柱形物体的测量及评价，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种周期性高密度柱形物体均匀性测量与评价的方法，其特征在于，所述步骤s2中计算所述周期性高密度柱形物体的所述周期性高密度柱形物体的平均高度，具体步骤包括：
3.根据权利要求1所述的一种周期性高密度柱形物体均匀性测量与评价的方法，其特征在于，所述步骤s3中，确定所述数据矩阵所包含的每个周期性高密度柱形物体中心的坐标，包括利用matlab中contour函数，得到二分之一平均高度时的contour函数矩阵，其包含了所有所述周期性高密度柱形物体在二分之一平均高度时的数据点坐标，对每一个所述周期性高密度柱形物体数据点坐标的x值和y值取平均，可得到每一个所述周期性高密度柱形物体中心的坐标。
4.根据权利要求3所述的一种周期性高密度柱形物体均匀性测量与评价的方法，其特征在于，所述步骤s3具体步骤包括：
5.根据权利要求1所述的一种周期性高密度柱形物体均匀性测量与评价的方法，其特征在于，所述步骤s4中，针对每个周期性高密度柱形物体，在设定的相对高度下，计算其截面面积，并将结果存入截面积数据矩阵，包括利...
【专利技术属性】
技术研发人员：甘志凯，林春，赵玉，解晓辉，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。