一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉技术方案

本发明专利技术公开了一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉，涉及碳化硅加工技术领域。包括炉体，用于加工碳化硅；加热组件，安装在所述炉体的内部，用于对碳化硅原材料加热；触发组件，安装在所述炉体的顶部，用于在运行时，触发加热组件以不同的功率运行；所述触发组件包括：升降部件，安装在所述炉体顶部的一端。本发明专利技术通过触发组件内升降部件在运行时，让导电销在加热组件内的限位管内转动，从而让电能触发加热电阻内不同的段落，进而实现对碳化硅原材料的精确加热，不仅提高了加热效率，而且通过精确控制加热电阻的工作段落，能够更加均匀地分配炉内的温度场，从而保证了晶体生长过程中的温度稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及碳化硅加工，具体为一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉。

技术介绍

1、在碳化硅加工领域，长晶炉是实现高质量碳化硅晶体生长的关键设备，由于长晶炉通常采用电阻加热方式，但这种方式存在加热不均匀、能耗高、响应速度慢等问题，因此为了克服这些缺点，急需一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉。

2、经检索，公开号“cn116770438a”的中国专利技术专利，公开了“一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉”，该申请通过采用旋转结构中的主轴带动坩埚结构进行旋转，在主轴旋转时，四个从动齿轮带动四个l型架绕主轴转动，使得横轴实现绕主轴的转动，同时横轴因为锥齿环与锥齿轮的啮合关系实现自转，这样多个稳定杆端部的第一滚珠会对主轴上的球形轴进行支撑，保证主轴定心平稳转动，保证坩埚结构的平稳转动，使得加热时温度场分布更易控制，保证温度均匀性，保证晶体的生产品质；

3、此外公开号“cn114411264a”的中国专利技术专利，公开了“一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉”，该申请通过感应线圈的周期往复旋转调整感应线圈的磁场，从而调整温本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统，其特征在于：所述升降部件、导电杆(806)、导电圆柱(803)、导电销(804)、限位管(1503)、导电臂(1507)以及加热电阻(1504)依次相电性连接；

3.根据权利要求1所述的一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统，其特征在于：所述升降部件包括：

4.根据权利要求3所述的一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统，其特征在于：所述传动框(808)远离螺杆一面的两端分别固定有供电销(807)，所述传动框(808)外部两侧的底端分别安装有回转套轮(...

【技术特征摘要】

1.一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统，其特征在于：所述升降部件、导电杆(806)、导电圆柱(803)、导电销(804)、限位管(1503)、导电臂(1507)以及加热电阻(1504)依次相电性连接；

3.根据权利要求1所述的一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统，其特征在于：所述升降部件包括：

4.根据权利要求3所述的一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统，其特征在于：所述传动框(808)远离螺杆一面的两端分别固定有供电销(807)，所述传动框(808)外部两侧的底端分别安装有回转套轮(805)，回转套轮(805)和传动框(808)之间固定安装有回...

【专利技术属性】
技术研发人员：董世昌，孙海霞，
申请(专利权)人：武汉金信新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：