下载一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉的技术资料

文档序号:44900052

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本发明公开了一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉,涉及碳化硅加工技术领域。包括炉体,用于加工碳化硅;加热组件,安装在所述炉体的内部,用于对碳化硅原材料加热;触发组件,安装在所述炉体的顶部,用于在运行时,触发加热组件以不同的功率运行;所述...
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