【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及碳化硅微粉的制备领域，尤其涉及一种高纯度碳化硅微粉的制备工艺。
技术介绍
1、碳化硅作为一种重要的宽禁带半导体材料，具有优异的物理和化学性能，如高硬度、高热导率、高化学稳定性等，在半导体、电子、新能源、航空航天等众多领域都有着广泛的应用。然而，要实现这些高性能应用，往往需要高纯度的碳化硅微粉作为基础原料。在过去的几十年里，碳化硅微粉的制备技术虽然取得了一定的进展，但仍然面临着诸多挑战。传统的制备方法，如艾奇逊法、气相沉积法等，在纯度控制方面存在一定的局限性。艾奇逊法生产的碳化硅通常含有较多的杂质，如碳、硅、铁、铝等，这极大地限制了其在高端领域的应用。气相沉积法虽然能够制备出高纯度的碳化硅，但由于工艺复杂、成本高昂，难以实现大规模生产。随着科技的飞速发展，对碳化硅微粉的纯度要求越来越高。例如，在半导体制造领域，为了确保芯片的性能和可靠性，需要使用纯度达到99.999％以上的碳化硅微粉。而在新能源汽车的功率器件中，高纯度的碳化硅微粉能够显著提高器件的效率和稳定性。因此，开发一种高效、低成本、能够大规模生产高纯度碳化硅微粉的制备...
【技术保护点】
1.一种高纯度碳化硅微粉的制备工艺，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的高纯度碳化硅微粉的制备工艺，其特征在于，将所述混合原料进行化合反应以生成碳化硅，包括：
3.根据权利要求2所述的高纯度碳化硅微粉的制备工艺，其特征在于，所述获取碳化硅微粉的纯度，包括：
4.根据权利要求3所述的高纯度碳化硅微粉的制备工艺，其特征在于，所述判定生产质量包括：
5.根据权利要求4所述的高纯度碳化硅微粉的制备工艺，其特征在于，根据所述生产质量确定是否调节氩气的输入比例包括：
6.根据权利要求5所述的高纯度碳化硅微粉的制备...
【技术特征摘要】
1.一种高纯度碳化硅微粉的制备工艺，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的高纯度碳化硅微粉的制备工艺，其特征在于，将所述混合原料进行化合反应以生成碳化硅，包括：
3.根据权利要求2所述的高纯度碳化硅微粉的制备工艺，其特征在于，所述获取碳化硅微粉的纯度，包括：
4.根据权利要求3所述的高纯度碳化硅微粉的制备工艺，其特征在于，所述判定生产质量包括：
5.根据权利要求4所述的高纯度碳化硅微粉的制备工艺，其特征在于，根据所述生产质量确定是否调节氩气的输入比例包括：
6.根据权利要求5所述的高纯度碳化硅微粉的制备工艺，其特征在于，根据提纯前后的碳化硅的重量变化量初步确定冲洗高度包括：
7.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：董世昌，宋秀芬，
申请(专利权)人：武汉金信新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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