摄像装置和电子设备制造方法及图纸

根据本公开的一个实施方案的摄像装置包括：半导体基板，其具有彼此相对的第一表面和第二表面和其中多个单位像素在行方向和列方向上以阵列布置的像素阵列部；光电转换部，其针对各个单位像素设置在半导体基板的第二表面侧且通过光电转换产生与接收到的光量相对应的电荷；电荷保持部，其针对各个单位像素设置在半导体基板的第一表面侧且保持从光电转换部传输的电荷；以及第一遮光部，设置在半导体基板上，位于光电转换部和电荷保持部之间，并且第一遮光部包括沿半导体基板的平面内方向延伸的第一水平遮光部和与第一水平遮光部正交的第一垂直遮光部，其中第一垂直遮光部包括沿着矩形单位像素的两相邻侧形成的第一行遮光部和第一列遮光部，并且针对每隔一列且沿45度倾斜方向定位的各个单位像素设置，并且在平面图中，第一水平遮光部是位于针对每隔一列且沿45度倾斜方向定位的各个单位像素设置的第一行遮光部和第一列遮光部的交叉点中处或附近的端部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开涉及各自通过执行光电转换来执行摄像的摄像装置和电子设备。

技术介绍

1、例如，关于光电转换部设置在si{111}基板的光照射面侧，并且电荷保持部设置在光照射面的相反侧的表面上的摄像装置，专利文献1提出通过使用碱性蚀刻的结晶方位各向异性从沟槽端部在基板的水平方向上形成空间，并且在光电转换部和光电荷保持部之间设置水平遮光部，来提高电荷保持部的遮光性能。

2、引用文献列表

3、专利文献

4、专利文献1：国际公开号wo2019/240207

技术实现思路

1、顺便提及地，期望提高摄像装置的电荷传输效率。

2、因此，期望提供各自都实现电荷保持部的优异遮光性能和优异的电荷传输效率的摄像装置和电子设备。

3、根据本公开的一个实施方案的摄像装置包括半导体基板、光电转换部、电荷保持部和第一遮光部。所述半导体基板包括彼此相对的第一表面和第二表面。所述半导体基板包括其中多个单位像素在行方向和列方向上以阵列形式布置的像素阵列部。所述光电转换部针对各个单位像素设置在所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种摄像装置，包括：

2.根据权利要求1所述的摄像装置，其中

3.根据权利要求1所述的摄像装置，其中，针对每隔一列且沿45度倾斜方向定位的各个所述单位像素设置的多个所述第一垂直遮光部彼此连续。

4.根据权利要求1所述的摄像装置，还包括：

5.根据权利要求4所述的摄像装置，还包括：

6.根据权利要求4所述的摄像装置，还包括：

7.根据权利要求1所述的摄像装置，其中，针对每隔一列且沿45度倾斜方向定位的各个所述单位像素设置的多个所述第一垂直遮光部包括设置在各个所述第一行遮光部和所述第一列遮光部的交叉点处的突出部，所述...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种摄像装置，包括：

2.根据权利要求1所述的摄像装置，其中

3.根据权利要求1所述的摄像装置，其中，针对每隔一列且沿45度倾斜方向定位的各个所述单位像素设置的多个所述第一垂直遮光部彼此连续。

4.根据权利要求1所述的摄像装置，还包括：

5.根据权利要求4所述的摄像装置，还包括：

6.根据权利要求4所述的摄像装置，还包括：

7.根据权利要求1所述的摄像装置，其中，针对每隔一列且沿45度倾斜方向定位的各个所述单位像素设置的多个所述第一垂直遮光部包括设置在各个所述第一行遮光部和所述第一列遮光部的交叉点处的突出部，所述突出部沿所述行方向或所述列方向突出。

8.根据权利要求7所述的摄像装置，其中，针对每隔一列且沿45度倾斜方向定位的各个所述单位像素设置的多个所述第一水平遮光部中的所述端部形成在连接设置在各个所述第一行遮光部和所述第一列遮光部的交叉点处的突出部的位置处。

9.根据权利要求1所述的摄像装置，其中，所述第一垂直遮光部从所述半导体基板的所述第一表面朝向所述第二表面延伸。

10.根据权利要求9所述的摄像装置，其中，所述第一垂直遮光部贯通所述半导体基板的所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：椎原由宇，
申请(专利权)人：索尼半导体解决方案公司，
类型：发明
国别省市：