【技术实现步骤摘要】
本技术涉及的是一种半导体厂房用无amc挥发的围篱,属于围篱。
技术介绍
1、半导体制造厂房的工艺制程对空气中的voc含量非常敏感,若voc含量超标,对半导体的制造工艺影响比较大,运维成本比较高。
2、现有技术中,大多数半导体厂房都使用橡胶材质的角锥和栏杆,角锥为圆锥型设计,上小下大,栏杆通过两端的套环直接放置于角锥上,同时栏杆通过一大一小两根杆件套在一起实现伸缩功能。橡胶材质的角锥和栏杆,使用过程中会不断的向空气中挥发有机化合物,其voc挥发量远超一般半导体制造厂房对于voc挥发量的限值。
技术实现思路
1、本技术提出的是一种半导体厂房用无amc挥发的围篱,其目的旨在克服现有技术存在的上述不足,在保证较低成本的前提下实现围篱的无voc挥发。
2、本技术的技术解决方案:一种半导体厂房用无amc挥发的围篱,其结构包括若干个立杆,立杆靠近顶端处开有水平方向贯通的长条孔,所有立杆的长条孔内穿设有警示带,立杆设置在高架地板上,所有立杆环绕需要环绕的对象周围,所有立杆的长条孔内
...【技术保护点】
1.一种半导体厂房用无AMC挥发的围篱,其特征在于,包括若干个立杆(1),立杆(1)靠近顶端处开有水平方向贯通的长条孔(2),所有立杆(1)的长条孔(2)内穿设有警示带(3),立杆(1)设置在高架地板(6)上,所有立杆(1)环绕需要环绕的对象周围,所有立杆(1)的长条孔(2)内穿设有警示带(3),警示带(3)环绕需要环绕的对象设置,所述的立杆(1)为SUS304不锈钢立杆(1)。
2.如权利要求1所述的一种半导体厂房用无AMC挥发的围篱,其特征在于,所述的立杆(1)为圆柱体形,立杆(1)靠近底端处为外螺纹部(11),外螺纹部(11)上方的立杆(1)上设垫片
...【技术特征摘要】
1.一种半导体厂房用无amc挥发的围篱,其特征在于,包括若干个立杆(1),立杆(1)靠近顶端处开有水平方向贯通的长条孔(2),所有立杆(1)的长条孔(2)内穿设有警示带(3),立杆(1)设置在高架地板(6)上,所有立杆(1)环绕需要环绕的对象周围,所有立杆(1)的长条孔(2)内穿设有警示带(3),警示带(3)环绕需要环绕的对象设置,所述的立杆(1)为sus304不锈钢立杆(1)。
2.如权利要求1所述的一种半导体...
【专利技术属性】
技术研发人员:史耿伟,陈润生,刘佳,雷洁玉,刘钰,
申请(专利权)人:中国电子系统工程第二建设有限公司,
类型:新型
国别省市:
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