【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体行业尾气提纯，尤其是一种用于半导体行业尾气氢气提纯及冷热电三联供一体化系统。
技术介绍
1、近年电子行业(以多晶硅、半导体制造为主)工艺尾气中的氢气提纯与回用方法研究受到行业关注。经过文献调研可将现有成果按照提纯级别与提纯后用途分为两大分类：
2、(1)深度提纯(纯度不低于5n)可用于燃烧发电或氢气回收利用的相关成果，该类研究常采用低温深冷分离与变压吸附等耗能较大的提纯流程以获得高纯度的氢气，但该类方法一般成本和能耗都较高。
3、(2)浅度提纯，提纯后氢气可用于发电系统的氢冷循环，更具有普适性。
4、公开号为cn119754934a的中国专利技术申请公开了一种应用于半导体等制造设备中的废弃氢气发电装置，该装置能够减轻提纯废弃氢气时的负担，并可将氢气再次应用于发电，从而实现对设施的辅助供电。该专利技术的废弃氢气发电装置具备：氢气生成部，诸如外延生长装置等；提纯部，从氢气生成部回收废弃氢气并通过与水接触除去氢气以外的杂质以制备精制氢气；贮存部，用于贮存精制氢气；发电部，通过将贮藏部供应...
【技术保护点】
1.一种用于半导体行业尾气氢气提纯及冷热电三联供一体化系统，其特征在于：包括依次连接的气体增压装置（1）、多个用于提纯氢气的分离塔（2）和氢燃料电池（3）；分离塔（2）中设有用于从尾气中除湿的分子膜和分离氢气的分子筛，氢燃料电池（3）产生的烟气供给分离塔（2）用于为分子筛再生供热后输入用于供热或供冷的吸收式机组（4），多个分离塔（2）交替进行氢气提纯和分子筛再生。
2.根据权利要求1所述系统，其特征在于：所述分离塔（2）包括除湿腔室（2-1）和提纯腔室（2-2），除湿腔室（2-1）内设有用于除湿的NaA分子膜（2-3），除湿腔室（2-1）除湿后的气体输入提...
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体行业尾气氢气提纯及冷热电三联供一体化系统，其特征在于：包括依次连接的气体增压装置（1）、多个用于提纯氢气的分离塔（2）和氢燃料电池（3）；分离塔（2）中设有用于从尾气中除湿的分子膜和分离氢气的分子筛，氢燃料电池（3）产生的烟气供给分离塔（2）用于为分子筛再生供热后输入用于供热或供冷的吸收式机组（4），多个分离塔（2）交替进行氢气提纯和分子筛再生。
2.根据权利要求1所述系统，其特征在于：所述分离塔（2）包括除湿腔室（2-1）和提纯腔室（2-2），除湿腔室（2-1）内设有用于除湿的naa分子膜（2-3），除湿腔室（2-1）除湿后的气体输入提纯腔室（2-2）；提纯腔室（2-2）内设有若干依次设置的用于分离氢气的3a分子筛（2-4）和4a分子筛（2-5）。
3.根据权利要求2所述系统，其特征在于：所述提纯腔室（2-2）中设有与氢燃料电池（3）烟气连通的供热管道（2-6）。
4.根据权利要求3所述系统，其特征在于：所述供热管道（2-6）...
【专利技术属性】
技术研发人员：董连东，廖怀钰，崔燕萍，伍豪，黄欣宇，廖勇，瞿伟，武宜成，
申请(专利权)人：中国电子系统工程第二建设有限公司，
类型：发明
国别省市：
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