温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种用于半导体行业尾气氢气提纯及冷热电三联供一体化系统，包括依次连接的气体增压装置、多个用于提纯氢气的分离塔和氢燃料电池；分离塔中设有用于从尾气中除湿的分子膜和分离氢气的分子筛，氢燃料电池产生的烟气供给分离塔用于为分子筛再生供热...
该专利属于中国电子系统工程第二建设有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子系统工程第二建设有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。